[發(fā)明專(zhuān)利]具有緩沖作用的晶粒吸嘴

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210322495.0
• 申請(qǐng)日: 2012-09-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103681430A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋俍宏
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 宋俍宏
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/683
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 北京華夏博通專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 11264
• 代理人: 劉俊

1.一種具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其特征在于，包括有：

一固定部，具有一軸向貫通的通氣孔；

至少一管狀彈性體，具有一軸向貫通的貫穿孔，該管狀彈性體設(shè)于該固定部?jī)?nèi)，使該貫穿孔與該通氣孔軸向直線(xiàn)對(duì)應(yīng)；

一工作部，具有一軸向貫通的微細(xì)通孔，該工作部的一長(zhǎng)度直接或間接連接該管狀彈性體，使該微細(xì)通孔直接或間接連通該管狀彈性體的貫穿孔。

2.如權(quán)利要求1所述的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其特征在于，所述固定部的一端設(shè)有一與該通氣孔相同圓心且軸向延伸的容置空間，所述管狀彈性體設(shè)在該容置空間內(nèi)。

3.如權(quán)利要求2所述的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其特征在于，所述工作部的一長(zhǎng)度的外徑組合于該管狀彈性體的貫穿孔內(nèi)徑。

4.如權(quán)利要求2所述的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其特征在于，所述工作部的外徑設(shè)有一凸緣，該凸緣將所述工作部區(qū)隔出一配合區(qū)段，所述工作部的配合區(qū)段的外徑組合于該管狀彈性體的貫穿孔內(nèi)徑，并使該凸緣抵住該管狀彈性體的端部。

5.如權(quán)利要求4所述的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其特征在于，所述固定部的容置空間設(shè)有一固定組件，使該凸緣受到該固定組件與該管狀彈性體抵掣。

6.如權(quán)利要求2所述的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其特征在于，所述固定部的容置空間設(shè)有一滑動(dòng)組件與一固定組件，使該滑動(dòng)組件位于該固定組件與該管狀彈性體之間，且該滑動(dòng)組件的外徑與該容置空間的內(nèi)徑滑動(dòng)配合，該滑動(dòng)組件的一端設(shè)有一軸向延伸的內(nèi)空間，該滑動(dòng)組件的相對(duì)另一端設(shè)有一凸柱，該凸柱設(shè)有一軸向貫通該內(nèi)空間的穿孔，該凸柱的外徑組合固定于該管狀彈性體的貫穿孔內(nèi)徑，該工作部的一長(zhǎng)度穿過(guò)該固定組件，并組合于該滑動(dòng)組件的內(nèi)空間。

7.如權(quán)利要求6所述的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其特征在于，所述固定部相對(duì)于該容置空間的另一端設(shè)有一塞體，該塞體具有軸向連接并且具有不同直徑的一第一塞柱與一第二塞柱，以及具有一軸向貫通的進(jìn)氣孔，所述第一塞柱迫塞于該固定部的通氣孔，所述第二塞柱迫塞于該管狀彈性體的貫穿孔。

8.如權(quán)利要求1所述的具有緩沖作用的晶粒吸嘴，其特征在于，其進(jìn)一步包含有一連接部，該連接部具有一軸向貫通的連接通孔，該連接部的一長(zhǎng)度組合固定于該管狀彈性體的貫穿孔，所述工作部的一長(zhǎng)度組合固定于該連接部的連接通孔。