[發(fā)明專利]分?jǐn)嘌b置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210321691.6
• 申請日: 2012-09-03
• 公開（公告）號: CN102975296A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西尾 仁孝;中田 勝喜
• 申請（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: B28D1/22
• 分類號: B28D1/22;C03B33/02
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 沈錦華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種通過對脆性板材形成劃線、且使脆性板材沿著劃線脆性破壞而將脆性板材分?jǐn)喑啥鄠€元件板材的分?jǐn)嘌b置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體晶片或構(gòu)成平面顯示面板的玻璃基板等脆性板材可由進(jìn)行刻劃加工的分?jǐn)嘌b置分?jǐn)喑啥鄠€元件板材。脆性板材為包含脆性材料的板狀的構(gòu)件，脆性材料包括半導(dǎo)體、玻璃、石英及陶瓷等。另外，平面顯示面板例如為液晶顯示面板及有機(jī)EL(electroluminescence，電激發(fā)光)面板等。

進(jìn)行刻劃加工的以往的分?jǐn)嘌b置例如在專利文獻(xiàn)1及專利文獻(xiàn)2等中有所揭示。刻劃加工是通過刻劃步驟及斷開步驟來實(shí)現(xiàn)。

刻劃步驟是對脆性板材的表面沿著多個元件板材的邊界線形成劃線的步驟。劃線是從脆性板材的一邊緣至另一邊緣形成為直線狀或曲線狀的龜裂。而且，劃線是通過鉆石等高硬度的切刀在脆性板材的表面滑動或滾動而形成，或者利用激光來形成。

以下，將切刀或激光的出射部等對脆性板材形成劃線的作用點(diǎn)稱為刻劃加工端。另外，切刀例如是在圓盤狀的旋轉(zhuǎn)體的外周部分形成圓環(huán)狀的鉆石的刀且與脆性板材的表面相接并滾動的刻劃輪，或者是在脆性板材的表面滑動的鉆石頭(diamond?point)等。

斷開步驟是如下步驟，即，通過對脆性板材的形成著劃線的面的相反側(cè)的面沿著著劃線推壓斷開棒(Break?bar)以施加壓力，而使脆性板材沿著劃線脆性破壞。在斷開步驟中使用的斷開棒是前端形成與劃線吻合的脊線的構(gòu)件。脆性板材是通過沿著劃線產(chǎn)生脆性破壞、即形成在一面上的劃線(線狀的龜裂)延伸至相反側(cè)的面，而沿著劃線被分?jǐn)喑啥鄠€元件板材。

而且，成為液晶顯示面板的母材的玻璃基板具有2片玻璃板夾著液晶層重疊而成的構(gòu)造。如專利文獻(xiàn)1所示，通過對2片玻璃板中的每一個實(shí)施刻劃步驟及斷開步驟，而將這種雙層構(gòu)造的脆性板材分?jǐn)喑啥鄠€元件板材。

而且，在專利文獻(xiàn)1及專利文獻(xiàn)2所示的刻劃加工中，橫貫脆性板材的劃線與縱貫脆性板材的劃線以相互交叉的狀態(tài)形成。

然而，在如手機(jī)或智能手機(jī)(smart?phone)具有的小型的平面顯示面板等相對較小的面板零件的制造步驟中，有時只沿著橫貫于寬度方向的劃線分?jǐn)鄬挾容^窄且較長的脆性板材。在該情況下，在刻劃步驟中，只對較長的脆性板材形成橫貫于寬度方向的劃線。以下，將包括這種刻劃步驟的刻劃加工稱為橫貫型刻劃加工。

圖8及圖9是將專利文獻(xiàn)1及專利文獻(xiàn)2所示的以往的分?jǐn)嘌b置用于脆性板材的橫貫型刻劃加工的例子，且分別是第1先前例的分?jǐn)嗖襟E及第2先前例的分?jǐn)嗖襟E的示意圖。在圖8及圖9所示的分?jǐn)嗖襟E中，沿著遍及包括刻劃步驟及斷開步驟的多個步驟的直線狀的主路徑R1輸送作為加工對象的脆性板材的工件9。

另外，在圖8及圖9所示的坐標(biāo)軸中，X軸方向是主路徑R1所沿著的直線方向，Y軸方向是與主路徑R1的方向正交的寬度方向，Z軸方向是與主路徑R1的方向及寬度方向正交的高度方向。

圖8(a)及圖8(b)分別是表示第1先前例的分?jǐn)嗖襟E中的刻劃步驟執(zhí)行前的狀態(tài)及執(zhí)行后的狀態(tài)的圖。在第1先前例中的刻劃步驟中，使用包括沿著寬度方向(Y軸方向)往返移動的刻劃加工端101的刻劃裝置100A。

在第1先前例中的刻劃步驟中，工件9是在其長度方向沿著主路徑R1的方向的狀態(tài)下沿著主路徑R1每隔一定距離地被搬送。此外，通過每當(dāng)每隔一定距離地搬送工件9后，刻劃加工端101便沿著寬度方向移動，而對工件9的一面形成橫貫工件9的多條平行的劃線Ls。

而且，在第1先前例中，在刻劃步驟后執(zhí)行反轉(zhuǎn)步驟。圖8(c)是表示反轉(zhuǎn)步驟的圖。在反轉(zhuǎn)步驟中，反轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)200使形成著多條劃線Ls的工件9上下反轉(zhuǎn)。

此外，在第1先前例中，在反轉(zhuǎn)步驟后執(zhí)行斷開步驟。圖8(d)是表示執(zhí)行斷開步驟后的狀態(tài)的圖。在第1先前例中的斷開步驟中，使用包括斷開棒301的斷開裝置300，該斷開棒301沿著寬度方向(Y軸方向)被支撐，并且沿著高度方向(Z軸方向)往返移動。

在第1先前例中的刻劃步驟中，工件9是在其長度方向沿著主路徑R1的方向的狀態(tài)下沿著主路徑R1每隔一定距離地被搬送。此外，通過每當(dāng)每隔一定距離地搬送工件9后，斷開棒301便沿著高度方向移動，而沿著劃線Ls推壓工件9的另一面。由此，工件9沿著多條劃線Ls中的每一條產(chǎn)生脆性破壞，而被分?jǐn)喑啥鄠€元件板材91。

另外，工件9的另一面是相對于工件9的形成著刻劃Ls的面為相反側(cè)的面。