[發明專利]升降機構和具有其的基片裝載設備

有效

• 申請號: 201210321348.1
• 申請日: 2012-09-03
• 公開（公告）號: CN103663262A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 李璐
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: B66F7/14
• 分類號: B66F7/14;H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 黃德海;宋合成

技術領域

本發明涉及半導體設備領域，尤其是涉及一種升降機構和具有其的基片裝載設備。

背景技術

在半導體設備領域，片盒自動裝載系統是高度自動化的LED刻蝕機傳輸系統的重要組成部分。通過片盒裝載晶片，并配合片盒升降機構和真空機械手取/放晶片，就可以實現晶片的全自動化裝/卸操作，大大提高了生產效率。片盒升降機構帶動片盒做規定的升降動作，配合機械手完成片盒內晶片的自動化裝/卸。

現有的片盒升降機構大多數是采用絲杠、導軌集成模式，即伺服電機通過同步帶輪帶動滾珠絲杠，由絲杠螺母帶動整個片盒升降機構完成運動動作，直線導軌定向運動方向，為防止片盒位置變動，設置制動器保持停止位置。由此，絲杠運動性能決定了整體機構的性能。由于需要通過直線導軌進行定位、導向，因此導軌與絲杠間的相對位置精度，就直接決定了整個絲杠的運行性能。為保證絲杠、導軌間的安裝滿足要求，需要較多的零件相互調整配合，并且安裝調試人員的技術水平也將影響片盒升降機構的整體性能。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。

為此，本發明的一個目的在于提出一種升降穩定且安裝、調試方便的升降機構。

本發明的另一個目的在于提出一種具有上述升降機構的基片裝載設備。

根據本發明第一方面實施例的升降機構，包括：驅動器；殼體，所述殼體內限定出升降通道，所述殼體的上下兩端分別設置有第一端蓋和第二端蓋用于封閉所述升降通道；滾珠絲杠，所述滾珠絲杠設置在所述升降通道內且包括相互配合的絲杠和絲杠螺母，所述絲杠的下端連接在所述第二端蓋上且由所述驅動器驅動轉動；升降桿，所述升降桿設在所述絲杠螺母的上表面上且同軸地套設在所述絲杠外以便由所述絲杠螺母推動所述升降桿上下移動，且所述升降桿的上端穿過所述第一端蓋；波紋管，所述波紋管設在所述第一端蓋上且套設在所述升降桿外，且所述波紋管的頂部設有升降臺；以及制動單元，用于制動所述絲杠的轉動運動。

根據本發明實施例的升降機構，殼體的端部設有用于封閉升降通道的第二端蓋，絲杠設在升降通道內且絲杠的下端連接在第二端蓋上，從而殼體可承受絲杠的傳遞負載，提高了運動過程中絲杠的導向精度，同時通過各個零部件之間的配合，提高了升降機構在升降過程中的穩定性，且升降機構安裝和維護方便。

另外，根據本發明的升降機構還具有如下附加技術特征：

根據本發明的一些實施例，所述升降機構還包括導向套，所述導向套可移動地配合在所述升降桿內且與絲杠連接。從而，可有效的防止絲杠在運動過程中的輕微偏擺。

進一步地，所述升降機構還包括：一對支撐軸承，所述一對支撐軸承與所述絲杠的下端相連；軸承端蓋，所述軸承端蓋分別與所述一對支撐軸承和所述第二端蓋的上表面連接以使所述絲杠的下端與所述第二端蓋相連。由此，保證了絲杠連接在第二端蓋上，使得殼體能承受絲杠的傳遞負載。

優選地，所述一對支撐軸承為角接觸球軸承。

進一步地，所述一對支撐軸承通過鎖緊螺母設在所述絲杠的下端。由此，進一步保證了絲杠連接在第二端蓋上。

在本發明的一些實施例中，所述升降機構還包括：支撐軸套，所述支撐軸套設在所述第一端蓋上，且所述升降桿與所述支撐軸套滑動配合。由此，通過支撐軸套與升降桿的滑動配合，保證了升降桿的直線運動方向保持不變。

具體地，所述第一端蓋內形成有軸套孔，所述支撐軸套安裝在所述軸套孔內。從而，便于支撐軸套的安裝。

進一步地，所述升降機構還包括防偏滑鍵，所述防偏滑鍵通過所述支撐軸套設在所述升降桿的至少一部分外周面上。由此，通過設置有防偏滑鍵，有效的防止了升降桿運動中的偏擺，進一步保證了升降桿的直線運動方向保持不變。

根據本發明的一個實施例，所述升降機構還包括：連接件，其中所述升降桿通過所述連接件與所述絲杠螺母的上表面相連。從而，保證了升降桿與滾珠絲杠之間的安裝精度，保證了升降桿升降過程的穩定性。

可選地，所述驅動器為電機。

在本發明的一個示例中，所述升降機構進一步包括：同步帶輪，其中所述絲杠通過同步帶輪由所述驅動器驅動；其中所述制動單元為制動器且與所述絲杠的下端相連。由此，安裝方便且使得升降機構所需的安裝空間小。

在本發明的另一個示例中，所述制動單元為彈性聯軸器且與所述驅動器的驅動軸相連。由此，該制動單元可直接制動驅動器，能夠快速的制動絲杠運動，且使得升降機構的成本低。