[發明專利]觸控面板的制造方法

有效

• 申請號: 201210320440.6
• 申請日: 2012-09-03
• 公開（公告）號: CN102855042A
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 游家維;邱啟明;呂雅茹
• 申請（專利權）人: 福建華映顯示科技有限公司;中華映管股份有限公司
• 主分類號: G06F3/044
• 分類號: G06F3/044
• 代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 蔡學俊

技術領域

本發明關于觸控面板，且特別是有關于觸控面板的制作方法。

背景技術

近來，各式電子設備使用觸控面板以允許使用者藉由使用一輸入裝置，如手指或觸控筆(stylus)，碰觸顯示在一顯示裝置上的一影像而輸入數據。此類觸控面板主要分類為電阻式觸控面板(resistive?touch?panel)和電容式觸控面板(capacitive?touch?panel)。根據電阻式觸控面板，當從一輸入裝置施加壓力至一電極，該電極發生短路，因此偵測到一位置。根據電容式觸控面板，當手指碰觸觸控面板時改變了電極間的電容，根據該電容的變化而偵測到一位置。?如果長時間重復使用電阻式觸控面板，電阻式觸控面板的效能則會退化，且可產生刮痕。為此，電容式觸控面板因其優良耐用性和長壽命而受到注目。

以下，參考圖1和圖2。圖1為說明傳統電容式觸控屏幕面板的俯視平面圖，以及圖2為說明沿著圖1A-A’線的觸控屏幕面板的剖面圖。觸控屏幕面板100的電極102形成在基板101上，電極102包括在第一方向(如X軸方向)平行排列的復數個第一電極102a，以及在垂直于第一電極102a的相交方向(如Y軸方向)排列的復數個第二電極102b。第一電極102a和第二電極102b彼此相交但是通過第一絕緣層103和第二絕緣層105保持電絕緣狀態。此外，第一方向排列的鄰近第一電極102a通過金屬橋104相互連接。即，金屬橋104將鄰近第一電極102a和第二電極102b相互連接。

傳統上，制造電容式觸控屏幕面板的方法，包括至少四道制程。首先，通過沉積制程，如濺渡方法在基板101上沉積一第一金屬，并且利用第一光罩以及微影和蝕刻制程圖案化第一金屬形成金屬橋104。接著，于金屬橋104上沉積一光阻層，并利用第二光罩以及微影和蝕刻制程圖案化光阻層來形成第一絕緣層103。隨后在第一絕緣層103以及金屬橋104上沉積一第二金屬，并且利用第三光罩以及微影和蝕刻制程圖案化第二金屬來形成第一電極102a和第二電極102b。最后，于第一電極102a和第二電極102b上沉積一光阻層，并利用一第四光罩以及微影和蝕刻制程圖案化光阻層來形成第二絕緣層105。

由于，傳統電容式觸控屏幕面板使用4個光罩制程制造，而每個光罩制程需伴隨著一系列的微影和蝕刻制程，如光阻、涂布、對準、曝光、顯影以及清潔，制程相當繁瑣，因此，如何減少光罩制程的數量即成為需考慮的課題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種可以較少光罩制程形成一觸控面板的制作方法。

本發明的技術方案在于：一種觸控面板的制造方法，其特征在于：包括下列步驟：

于一基板的表面上依序形成一第一導電層、一第二導電層以及一第一光阻層；

使用一第一灰階光罩圖案化該第一光阻層；

利用該圖案化第一光阻層蝕刻該第一導電層以及該第二導電層以定義出該觸控面板的一第一感測電極；

形成一第一絕緣層于該基板以及該第一感測電極上；

使用一第二灰階光罩圖案化該第一絕緣層以形成具不同厚度的圖案化第一絕緣層，其中覆蓋在該第一感測電極之上的該圖案化第一絕緣層具有最大的厚度；

形成一第三導電層于該圖案化第一絕緣層上；

形成一第二光阻層于該第三導電層上；

圖案化該第二光阻層以暴露出部分之該第三導電層；以及

利用該圖案化第二光阻層蝕刻該第三導電層以定義出該觸控面板的一第二感測電極。

進一步的，其中該第一導電層和第三導電層的材質是氧化銦錫。

進一步的，其中該第二導電層的材質是氧化銦錫或合金材料。

進一步的，其中該合金材料系為具有鈀、鉑、金、銀、鉻、AlNd以及鋁的任一種或其組合。

進一步的，其中是以濕式蝕刻或干式蝕刻方式蝕刻該第一導電層、該第二導電層以及該第三導電層。

進一步的，其中該基材系選自玻璃、塑料以及透明材質所組成的族群之一。

進一步的，其中使用該第一灰階光罩圖案化該第一光阻層之步驟，更包括：

在預定形成該第一感測電極處，形成具有一第一厚度以及一第二厚度的該第一光阻層，其中該第二厚度小于該第一厚度；以及

移除位于預定形成該第二感測電極處的第一光阻層以暴露出該第二導電層。

進一步的，其中利用該圖案化第一光阻層蝕刻該第一導電層以及該第二導電層以定義出該觸控面板的一第一感測電極之步驟，更包括：