[發明專利]鉿銦鋅氧化物靶材的制作方法

無效

• 申請號: 201210319449.5
• 申請日: 2012-09-03
• 公開（公告）號: CN102864423A
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 信恩龍;李喜峰;張建華
• 申請（專利權）人: 上海大學
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/08
• 代理公司: 上海上大專利事務所(普通合伙) 31205
• 代理人: 何文欣

1.一種鉿銦鋅氧化物靶材的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：

1）氧化鉿、氧化銦和氧化鋅三種金屬氧化物納米粉體的制備：將金屬鉿、銦和鋅三種金屬分別加熱熔化形成不同的金屬熔體，然后將各金屬熔體分別在氧化反應氣氛下進行氧化，再經冷卻處理后分別形成氧化鉿、氧化銦和氧化鋅三種金屬氧化物顆粒，然后分別通過提純獲得純凈的氧化鉿、氧化銦和氧化鋅三種金屬氧化物粉末，再對各金屬氧化物粉末分別進行研磨，得到粒度均勻的氧化鉿、氧化銦和氧化鋅三種金屬氧化物的納米粉體，各金屬氧化物納米粉體的顆粒粒徑均達到0.1?um；

2）靶材初坯制備：將氧化鉿、氧化銦和氧化鋅三種金屬氧化物納米粉體按照重量百分比為（3±10%）：（2±10%）：（1.2±10%）的比例均勻混合后，放入模具中，對模具中的坯體進行壓制成型，形成靶材初坯，待燒結備用；

3）燒結：去除模具后，將靶材初坯放入燒結裝置中進行燒結，在1300℃～1500℃下，采用真空或惰性氣體環境燒結5～10小時，形成靶材毛坯；

4）整型：將燒結后的靶材毛坯進行機械加工、打磨、表面平整化處理，然后在靶材毛坯的表面粘貼銅背板，最后形成鉿銦鋅氧化物靶材。

2.根據權利要求1所述的鉿銦鋅氧化物靶材的制作方法，其特征在于：在上述步驟1）中，各金屬熔體分別在氧化反應氣氛下進行氧化時，同時分別向各金屬熔體通入大電流進行攪拌，并分別對各金屬熔體進行保溫，同時還使各金屬熔體處于強磁場中，使各金屬熔體通過霧化或氣化方式進行氧化。

3.根據權利要求2所述的鉿銦鋅氧化物靶材的制作方法，其特征在于：在上述步驟1）中，當對各金屬氧化物粉末分別進行研磨時，分別加入活性劑后再進行研磨，使各金屬氧化物的顆粒粒徑達到要求，再分別對研磨后的漿料進行加熱，將活性劑去除，干燥成粉，得到高純度的氧化鉿、氧化銦和氧化鋅三種金屬氧化物的納米粉體。

4.根據權利要求3所述的鉿銦鋅氧化物靶材的制作方法，其特征在于：該活性劑沸點小于500℃。

5.根據權利要求1～4中任意一項所述的鉿銦鋅氧化物靶材的制作方法，其特征在于：在上述步驟2）中，在將氧化鉿、氧化銦和氧化鋅三種金屬氧化物納米粉體混合時，加入增塑劑，然后倒入模具中進行預壓成型，再對模具施加各向均等靜壓力進行等靜壓壓制成型，使模具中的坯體受壓實密化，形成燒結前的靶材初坯。

6.根據權利要求5所述的鉿銦鋅氧化物靶材的制作方法，其特征在于：在密封的高壓缸內進行靶材初坯制備，以非氧化性的高壓氣體為介質，對模具施加各向均等靜壓力。

7.根據權利要求6所述的鉿銦鋅氧化物靶材的制作方法，其特征在于：所述高壓氣體為高壓氬氣。

8.根據權利要求5所述的鉿銦鋅氧化物靶材的制作方法，其特征在于：所述模具的材料采用彈性的塑料或橡膠。