[發(fā)明專利]濺射環(huán)及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210316426.9
• 申請日: 2012-08-30
• 公開（公告）號: CN103681201A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;馬松
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號: H01J37/34
• 分類號: H01J37/34
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種濺射環(huán)的制造方法，其特征在于，包括：

提供濺射環(huán)坯料，所述濺射環(huán)坯料具有第一端部及第二端部；

在所述第一端部上形成一個或多個間隔排列的槽，在所述第二端部上形成一個或多個間隔排列的嵌入部，所述槽的形狀與所述嵌入部的形狀相同且所述槽的寬度不大于所述嵌入部，所述槽具有適于阻止所述嵌入部從所述槽脫離開的阻擋壁；

將所述嵌入部壓入所述槽內(nèi)，實現(xiàn)所述嵌入部與槽的過盈配合，并使所述第一端部與第二端部固定在一起形成濺射環(huán)；

對所述濺射環(huán)的內(nèi)表面進行車削加工，然后，在所述濺射環(huán)的內(nèi)表面形成花紋。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述槽具有相對設(shè)置的第一側(cè)壁與第二側(cè)壁，沿著所述槽的凹陷方向，至少有部分所述第一側(cè)壁與部分所述第二側(cè)壁之間的距離按照逐漸增大的方式變化，或者，至少有部分所述第一側(cè)壁與部分所述第二側(cè)壁之間的距離先保持在第一寬度不變接著變化至第二寬度并保持在第二寬度不變，所述第二寬度大于第一寬度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，

沿著所述槽的凹陷方向，所述第一側(cè)壁與第二側(cè)壁之間的距離按照逐漸增大的方式變化；

或者，沿著所述槽的凹陷方向，所述第一側(cè)壁與第二側(cè)壁之間的距離按照先逐漸增大后逐漸減小的方式變化；

或者，沿著所述槽的凹陷方向，所述第一側(cè)壁與第二側(cè)壁之間的距離按照先逐漸增大接著保持不變后逐漸減小的方式變化；

或者，沿著所述槽的凹陷方向，所述第一側(cè)壁與第二側(cè)壁之間的距離按照先逐漸減小后逐漸增大的方式變化；

或者，沿著所述槽的凹陷方向，所述第一側(cè)壁與第二側(cè)壁之間的距離按照先保持不變后逐漸增大的方式變化；

或者，沿著所述槽的凹陷方向，所述第一側(cè)壁與第二側(cè)壁之間的距離按照先保持不變接著逐漸增大后逐漸減小的方式變化；

或者，沿著所述槽的凹陷方向，所述第一側(cè)壁與所述第二側(cè)壁之間的距離先保持在第一寬度不變接著逐漸增大至第二寬度并保持在第二寬度不變，所述第二寬度大于第一寬度；

或者，沿著所述槽的凹陷方向，所述第一側(cè)壁與所述第二側(cè)壁之間的距離先保持在第一寬度不變接著突變至第二寬度并保持在第二寬度不變，所述第二寬度大于第一寬度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，所述嵌入部的寬度與所述槽的寬度之差為0.04mm~0.16mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，所述嵌入部的高度與所述槽的深度之差為±0.04mm~±0.16mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，利用線切割設(shè)備形成所述槽及嵌入部。

7.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，利用榔頭將所述嵌入部壓入所述槽內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，還包括對所述濺射環(huán)的外表面進行車削加工，然后在所述濺射環(huán)的外表面形成花紋的步驟。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，對所述濺射環(huán)的內(nèi)表面進行車削加工之后并在所述濺射環(huán)的內(nèi)表面形成花紋之前，以及對所述濺射環(huán)的外表面進行車削加工之后并在所述濺射環(huán)的外表面形成花紋之前，還包括對所述濺射環(huán)的內(nèi)表面及外表面進行拋光處理的步驟。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述拋光處理使得所述濺射環(huán)的內(nèi)表面及外表面的光潔度為0.2Ra~0.3Ra。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，利用型號為80TPI的滾花輪在所述濺射環(huán)的內(nèi)表面及外表面形成所述花紋。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，形成所述花紋時所述滾花輪的壓降量為0.7mm~1.5mm。

13.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，所述濺射環(huán)的材料為鉭、銅或鈦。

14.一種濺射環(huán)，其特征在于，具有固定在一起的第一端部及第二端部，所述第一端部上設(shè)有一個或多個間隔排列的槽，所述第二端部上設(shè)有一個或多個間隔排列的嵌入部，所述槽的形狀與所述嵌入部的形狀相同，且所述槽與嵌入部以過盈配合方式裝配在一起，所述槽具有適于阻止所述嵌入部從所述槽脫離開的阻擋壁，所述濺射環(huán)的內(nèi)表面形成有花紋。