[發明專利]光學透鏡高精度支撐結構

無效

• 申請號: 201210312857.8
• 申請日: 2012-08-29
• 公開（公告）號: CN102854596A
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 趙磊;鞏巖
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G02B7/02
• 分類號: G02B7/02;G03F7/20
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 南小平

技術領域

本發明屬于深紫外投影光刻物鏡結構設計與像差補償領域，具體涉及光學透鏡高精度支撐結構。

背景技術

投影光刻裝備是大規模集成電路制造工藝中的關鍵設備，近年來隨著集成電路線寬精細程度的不斷提高，投影光學裝備的分辨率亦逐漸提高，目前波長193.368nm的ArF準分子激光器投影光刻裝備已成為90nm、65nm和45nm節點集成電路制造的主流裝備。

投影光刻物鏡裝調及使用過程中，為滿足良好的光學系統性能，要求其內部透鏡面形RMS值大都在1~2nm范圍內，同時要求其工作過程中受高能激光照射時引起的鏡片熱面形RMS控制在1~2nm范圍內。

發明內容

本發明為解決光刻投影物鏡光學透鏡高精度支撐問題，提出一種整體徑向撓性、全彈片支撐的光學透鏡高精度支撐結構。

光學透鏡高精度支撐結構，包括鏡框和三個調整頂絲，所述鏡框內環上具有若干彈片，且鏡框和若干彈片為整體式結構；所述三個調整頂絲在鏡框內環上周向均勻設置。

所述彈片與光學透鏡接觸部位的形狀與光學透鏡下表面接觸部位的形狀相適應，兩者之間為面接觸。

本發明的有益效果是：所述鏡框通過其內環上的若干彈片支撐透鏡，鏡框和若干彈片為整體式結構，當透鏡由于熱載荷等膨脹時，由于鏡框結構整體上在徑向上存在一定的撓性，因此當鏡片膨脹收縮時能夠順應性得伸縮；透鏡裝調時，首先將透鏡放置在若干彈片上，通過周向均勻分布的三個調整頂絲對透鏡進行調心，然后通過膠粘將透鏡和鏡框固定，最后再將三個調整頂絲擰出；從而實現光學透鏡高精度支撐。

附圖說明

圖1為本發明光學透鏡高精度支撐結構示意圖。

圖2為本發明所述的鏡框結構示意圖。

圖3為本發明所述的另一鏡框結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明進行詳細說明。

如圖1所示，光學透鏡高精度支撐結構，包括鏡框2和三個調整頂絲3，鏡框2內環上具有若干彈片2-1，且鏡框2和若干彈片2-1為整體式結構；三個調整頂絲3在鏡框2內環上周向均勻設置。

鏡框2通過其內環上的一圈彈片2-1支撐光學透鏡1，鏡框2和一圈彈片2-1為整體式結構，可通過慢走絲線切割的方式進行加工。當光學透鏡1由于熱載荷等膨脹時，由于鏡框結構整體上在徑向上存在一定的撓性，因此鏡框2在光學透鏡1膨脹收縮時能適應性地伸縮。

彈片2-1沿周向均布，其與鏡片接觸處的形狀依據光學透鏡1下表面接觸部位的形狀確定。如圖2所示，當鏡片接觸面為平面時，彈片接觸面也為平面；如圖3所示，當鏡片接觸面為球面時，彈片接觸面也相應地為球面；當鏡片接觸面為非球面時，彈片接觸面也相應地為非球面。

裝調時，首先將光學透鏡1放置在若干彈片2-1上，通過周向均勻分布的三個調整頂絲3對光學透鏡1進行調心，然后通過膠粘將光學透鏡1和鏡框2固定，最后再將三個調整頂絲3擰出。