[發明專利]一種復合多層膜紅外吸收層

無效

• 申請號: 201210312537.2
• 申請日: 2012-08-29
• 公開（公告）號: CN102848637A
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 魚衛星;郝東亮;王泰升;盧振武;孫強
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: B32B15/04
• 分類號: B32B15/04;B32B33/00
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 田春梅

技術領域

本發明涉及光學儀器表面鍍膜技術領域，具體涉及一種復合多層膜紅外吸收層。

背景技術

在現代光學儀器中，降低儀器的鏡頭等部件表面的反射率是一項至關重要的技術，該技術的使用能大大提高成像的對比度或者儀器的效率。比如，在望遠鏡中，減小反射能消除雜散光帶來的對比度下降問題；在紅外探測器中，降低反射率能使更多的紅外光進入探測器內部，大大提高紅外光的利用效率，使探測器具有更高的靈敏度。要增加吸收率，可以通過鍍膜的方法，通過選擇適當的材料、精確控制膜厚、提高膜層的質量等參數來降低反射率；也可以通過在器件表面做抗反射結構層，合理選擇結構的形狀以及尺寸等，也可以降低反射率。但是后者的制作成本高，制作難度也大，這里只考慮使用鍍膜的方法。有文獻報道，鎳鉻（NiCr）可以作為紅外探測器的吸收材料，但是其吸收率小于80%，這樣的轉化效率距理想還有很大差距，具體可參考文獻“S.?Bauer,?S.?Bauer-Gogonea,?W.?Becker,?R.?Fettig,?B.?Ploss,?W.?Ruppel，‘Thin?metal?films?as?absorbers?for?infrared?sensors’,Sensors?and?Actuators?A:?Physical，Volumes?37–38,?June–August?1993,?Pages?497–501”。也有一些其它方法做吸收層，比如采用熱蒸發制備的金黑就是一種很好的吸收材料，但是受工藝等的限制，應用起來比較困難。因此，做出吸收效率高，制作方法簡單而且價格低廉的吸收層有很高的現實意義。

發明內容

本發明的目的是提供一種復合多層膜紅外吸收層，其制作簡單，對紅外波段吸收率優于99%。

為了實現上述目的，本發明采取的技術方案如下：

一種復合多層膜紅外吸收層，從下至上依次包括基底、黏附層、反射層、第一介質層、鎳鉻合金層和第二介質層；黏附層采用真空鍍膜的方法鍍在基底上，反射層采用真空鍍膜的方法生長在黏附層上，第一介質層采用旋轉涂膠的方法涂在反射層上，鎳鉻合金層采用真空鍍膜的方法鍍在第一介質層上，第二介質層采用旋轉涂膠的方法涂在鎳鉻合金層上。

本發明的有益效果是：采用了真空鍍膜和旋轉涂膠的方法，實驗工藝簡單；通過控制各層膜的厚度，實現了對紅外波段的高吸收，而且吸收率不低于99%。

附圖說明

圖1是本發明復合多層膜紅外吸收層的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明做進一步詳細說明。

如圖1所示，本發明的復合多層膜紅外吸收層從下至上依次包括基底1、黏附層2、反射層3、第一介質層4、鎳鉻合金層5和第二介質層6；黏附層2采用真空鍍膜的方法鍍在基底1上，反射層3采用真空鍍膜的方法生長在黏附層2上，第一介質層4采用旋轉涂膠的方法涂在反射層3上，鎳鉻合金層5采用真空鍍膜的方法鍍在第一介質層4上，第二介質層6采用旋轉涂膠的方法涂在鎳鉻合金層5上。

在基底1上的黏附層2是為了增加反射層3與基底1之間的粘附力，反射層3在紅外波段有很高的反射率，金屬膜的制備是通過真空鍍膜的方法完成，可以是熱蒸發、電子束蒸發、磁控濺射等；第一介質層4和第二介質層6通過旋轉涂膠的方法實現。

本發明復合多層膜紅外吸收層的制作方法如下：

1、黏附層2是采用真空鍍膜的方法在基底（比如，陶瓷片）1上鍍的一層金屬薄膜層，該金屬層可以是鉻、鈦、鈦鎢合金等，該金屬層的作用是加強基底1和反射層3之間的黏附性；

2、反射層3是采用真空鍍膜的方法在黏附層2上長出的一層金屬膜，該金屬膜采用的是在紅外波段反射率高的金、銅、鋁等材料，反射層3在整個吸收層中的作用是反射紅外光；

3、第一介質層4緊貼在反射層3之上，可以用聚酰亞胺、氟化鉛等材料，用旋轉涂膠的方法實現需要的膜厚，紅外光可以在該層中橫向傳播；

4、鎳鉻合金層5通過真空鍍膜的方法鍍在第一介質層4上；

5、最上面的第二介質層6是采用旋轉涂膠的方法涂在鎳鉻合金層5上。

按照上述方法做出的吸收層，其對紅外波段的吸收率不低于99%。