[發明專利]垂直腔面發射激光器側面泵浦源及其制作方法

無效

• 申請號: 201210312496.7
• 申請日: 2012-08-29
• 公開（公告）號: CN102856790A
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 寧永強;張金勝;張金龍;劉云;王立軍
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: H01S5/183
• 分類號: H01S5/183;H01S5/024
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 張偉

1.垂直腔面發射激光器側面泵浦源，其特征在于，包括：

內有制冷液體的大通道熱沉（1），所述大通道熱沉（1）的上端設有水平安裝面（6），絕緣熱沉（2），以及垂直腔面發射激光器列陣（4）；

在所述絕緣熱沉（2）內鍍制有金屬薄膜（3）；所述垂直腔面發射激光器列陣（4）與所述金屬薄膜（3）通過金絲引線（5）連接。

2.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器側面泵浦源，其特征在于，所述的垂直腔面發射激光器列陣（4）為正四面形或者正六角形的單管排列結構。

3.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器側面泵浦源，其特征在于，多個所述金屬薄膜（3）中間設有間隔，所述金絲引線（5）可在所述金屬薄膜（3）的三個邊將相鄰的所述金屬薄膜（3）連接。

4.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器側面泵浦源，其特征在于，所述大通道熱沉（1）的長×寬×高為：30mm×6.8mm×10mm。

5.根據權利要求1-4任意一項所述的垂直腔面發射激光器側面泵浦源，其特征在于，每個垂直腔面發射激光器列陣（4）包括多個發光單元，每個所述發光單元由下至上依次包括：?

下電極（13）；

襯底（7）；

下布拉格反射鏡（8）；

有源層（9）；

側氧化層（10）；

上布拉格反射鏡（11）；

上電極（12）。

6.根據權利要求5所述的垂直腔面發射激光器側面泵浦源，其特征在于，

所述下布拉格反射鏡（8）和所述上布拉格反射鏡（11）可以分別替換為介質反射鏡。

7.權利要求1所述的垂直腔面發射激光器側面泵浦源的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

首先，在大通道熱沉（1）的上端水平安裝面（6）上，使用導電性好的材料與絕緣熱沉（2）緊密結合；

然后，在絕緣熱沉（2）的上表面區域，使用蒸鍍技術制備金屬薄膜（3），用于傳導電流；

再然后，在每個固定的區域內蒸鍍焊料，將垂直腔面發射激光器列陣（4）與所述金屬薄膜（3）焊接；?

最后，在所述金屬薄膜（3）三個邊打上金絲引線（5），連接相鄰的所述金屬薄膜（3）。

8.根據權利要求7所述的制作方法，其特征在于，在將垂直腔面發射激光器列陣（4）與所述金屬薄膜（3）焊接的步驟中，所述焊料可以是In或AuSn。