[發(fā)明專利]一種預(yù)熱裝置及裝置平移系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210311283.2
• 申請日: 2012-08-28
• 公開（公告）號: CN102864491A
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 冷先鋒;阮光玉;王楠
• 申請（專利權(quán)）人: 北京京運(yùn)通科技股份有限公司
• 主分類號: C30B13/20
• 分類號: C30B13/20
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種預(yù)熱裝置，用于區(qū)域熔化多晶硅棒時，預(yù)熱多晶硅棒，其特征在于，該預(yù)熱裝置具有能在電流磁場作用下產(chǎn)生感應(yīng)電流并發(fā)熱的殼體，殼體內(nèi)部具有能將多晶硅棒預(yù)熱部分不接觸環(huán)繞，且與所述多晶硅棒預(yù)熱部分形狀相似的通孔。

2.如權(quán)利要求1所述的預(yù)熱裝置，其特征在于，所述殼體的外部形狀為圓柱體。

3.如權(quán)利要求2所述的預(yù)熱裝置，其特征在于，所述殼體上具有從殼體的側(cè)壁沿水平方向鑿入的、用于移動所述預(yù)熱裝置時連接外接設(shè)備的圓孔。

4.如權(quán)利要求3所述的預(yù)熱裝置，其特征在于，所述圓孔位于圓柱體的柱高中心處。

5.如權(quán)利要求3或4所述的預(yù)熱裝置，其特征在于，所述殼體上具有從殼體的上頂面或下底面外壁沿垂直方向鑿入的、用于將所述預(yù)熱裝置與所述外接設(shè)備鎖定連接的鎖孔，所述鎖孔與所述圓孔連通。

6.如權(quán)利要求1所述的預(yù)熱裝置，其特征在于，所述預(yù)熱裝置的材料為石墨。

7.一種裝置平移系統(tǒng)，用于區(qū)域熔化多晶硅棒預(yù)熱時移動預(yù)熱裝置，包括平動機(jī)構(gòu)和連接棒，其特征在于，還包括權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的預(yù)熱裝置，所述預(yù)熱裝置通過所述連接棒與所述平動機(jī)構(gòu)連接，通過所述平動機(jī)構(gòu)移動所述預(yù)熱裝置。

8.如權(quán)利要求7所述的裝置平移系統(tǒng)，其特征在于，所述連接棒為相對棒體中心對稱，中部與端部直徑不同的圓柱體；其中，端部圓柱體的直徑與所述預(yù)熱裝置側(cè)壁上的圓孔直徑相匹配、且小于中部圓柱體的直徑。

9.如權(quán)利要求8所述的裝置平移系統(tǒng)，其特征在于，還包括鎖栓；且所述連接棒的圓柱體端部還具有一豎向圓孔，所述豎向圓孔的直徑與所述預(yù)熱裝置上的鎖孔直徑相匹配；當(dāng)所述連接棒的圓柱體端部通過預(yù)熱裝置側(cè)壁上的圓孔插入所述預(yù)熱裝置時，所述豎向圓孔與所述鎖孔位置對應(yīng)，通過所述鎖栓將所述預(yù)熱裝置與所述連接棒鎖定連接。

10.如權(quán)利要求9所述的裝置平移系統(tǒng)，其特征在于，所述連接棒的圓柱體端部的長度不大于預(yù)熱裝置側(cè)壁上圓孔的鑿入深度。

11.如權(quán)利要求7-10任一項(xiàng)所述的裝置平移系統(tǒng)，其特征在于，所述連接棒具有與預(yù)熱裝置相同的材料。