[發明專利]流體控制閥

有效

• 申請號: 201210310859.3
• 申請日: 2012-08-28
• 公開（公告）號: CN102966741A
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 林繁之
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: F16K1/00
• 分類號: F16K1/00;F16K31/44
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 周善來;李雪春

技術領域

本發明涉及用于例如控制氣體流量的質量流量控制器等的流體控制閥。

背景技術

所謂流體控制閥是指，通過安裝在上游流路和下游流路之間，控制在所述流路中流動的流體的流量，或者打開或關閉。例如，作為對用于半導體處理的氣體的流量進行控制的流體控制閥，公知的有專利文獻1所示結構的流體控制閥。

例如如專利文獻1的圖7所示，常閉型的流體控制閥包括：閥體，配置在形成在主體上的閥室內，并且設置為能與設置在所述閥室內的閥座接觸或分離；驅動部件，對所述閥體施加朝向開閥方向的作用力；以及閥體復位彈簧，對所述閥體施加朝向關閥方向的作用力。

此外，為了防止流體受到污染，所述流體控制閥的閥體與包圍該閥體側面的包圍面之間形成有間隙，不僅不需要潤滑油，而且閥體與包圍面也不會發生磨損。

現有技術文獻

專利文獻1：日本專利公開公報特開2010-230159號

可是，由于閥體與包圍面之間存在間隙，所以因從流體受到的壓力的影響等，會產生下述問題：在開關動作中閥體相對于閥體的開關方向傾斜或閥體產生振動，從而導致由驅動部件調整的閥開度發生誤差。此外，存在下述問題：因閥體振動，導致該閥體與周圍部件接觸而產生振動噪音，此外由于與周圍部件接觸而導致閥體或周圍部件磨損或破損。

發明內容

本發明是用于一舉解決所述的問題而做出的發明，本發明的主要目的是提供一種流體控制閥，該流體控制閥能夠防止污染通過流體控制閥的流體，并且能夠防止閥體相對于移動方向傾斜或振動。

即，本發明提供一種流體控制閥，控制來自上游流路的流體并使該流體向下游流路流出，所述流體控制閥的特征在于包括：閥體，與閥室內側的面隔開規定間隔配置在該閥室內，并且設置為能與設于所述閥室內的閥座接觸或分離；驅動部件，對所述閥體施加朝向開閥方向的作用力；閥體復位彈簧，對所述閥體施加朝向關閥方向的作用力；以及傾斜抑制彈簧，對所述閥體施加朝向消除所述閥體相對于開關方向的傾斜的方向的作用力。

此外，本發明還提供一種流體控制閥，控制來自上游流路的流體并使該流體向下游流路流出，所述流體控制閥的特征在于包括：閥體，與閥室的內側的面隔開規定間隔配置在該閥室內，并且設置為能與設于所述閥室內的閥座接觸或分離；驅動部件，對所述閥體施加朝向關閥方向的作用力；閥體復位彈簧，對所述閥體施加朝向開閥方向的作用力；以及傾斜抑制彈簧，對所述閥體施加朝向消除所述閥體相對于開關方向的傾斜的方向的作用力。

按照所述的流體控制閥，由于通過傾斜抑制彈簧，朝向消除閥體相對于開關方向的傾斜的方向施加作用力，所以可以抑制閥體的傾斜，并且可以防止產生振動，該振動是由于反復進行下述動作而產生的：受流體壓力影響產生閥體傾斜或因該傾斜的折返閥體向相反一側傾斜。由此，可以使開關動作中的閥體的姿態維持為一定的姿態，能夠降低由驅動部件調整的閥開度的誤差。此外，由于能夠防止閥體的振動，所以可以防止因與周圍部件接觸而產生的噪音、以及閥體和周圍部件的磨損及破損。此外，由于閥體復位彈簧與傾斜抑制彈簧分別單獨設置，所以可以單獨設計閥體復位彈簧的彈簧常數和傾斜抑制彈簧的彈簧常數，使得各彈簧能夠充分發揮固有的功能。此外，通過使用閥體復位彈簧和傾斜抑制彈簧，可以加大固有頻率，所以能夠防止閥體的共振。此外，由于閥體與形成閥室的內側的面隔開規定間隔配置，所以不存在因閥體與閥室的相對滑動而產生的磨損粉末及潤滑油污染流體的問題。

作為傾斜抑制彈簧的具體實施方式，優選的是，所述傾斜抑制彈簧包括：呈環狀的主體部，與所述閥體側或所述閥室的內側的面側的一方接觸設置；以及多個突出部，從所述主體部伸出，并且與所述閥體側或所述閥室的內側的面側的另一方接觸設置。按照該方案，由于傾斜抑制彈簧具有多個突出部，所以可以使各突出部容易彈性變形，并可以減小彈簧常數。此外，不管閥體相對于開關方向向哪一方向傾斜，都可以使某個突出部對閥體施加作用力，可以抑制閥體的傾斜。此外，環狀的主體部和多個突出部是一體的，不僅能減少零件個數，還能減少組裝工時。

在此，優選的是，所述多個突出部相互呈相同形狀，并且在周向上等間隔地形成。按照該方案，在閥體相對于開關方向未發生傾斜的狀態下，可以使各突出部對閥體施加的作用力均勻。即，當閥體發生傾斜時，位于所述傾斜方向上的突出部比其他的突出部發生更大的彈性變形，變成朝向消除傾斜的方向對閥體作用有更大的作用力，從而能夠消除傾斜。