[發明專利]可調式測溫裝置

有效

• 申請號: 201210309285.8
• 申請日: 2012-08-28
• 公開（公告）號: CN102809439A
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發明（設計）人: 劉安鈞;黃志偉;邵任民
• 申請（專利權）人: 昱成光能股份有限公司
• 主分類號: G01K7/02
• 分類號: G01K7/02;G01K1/14
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍

技術領域

本發明涉及一種測溫裝置，特別是涉及一種可調式測溫裝置。

背景技術

利用熱電偶測溫的技術已被普遍應用，且熱電偶通常不可直接置入高溫環境中。

如中國臺灣公告編號171787號專利案，一種熱電偶的結構，是將一個配線盤鎖固在一個接線盒上，且一個保護套管固設在該接線盒，再將一個溫度感測棒利用一個彈簧連結于該配線盤，利用該彈簧的彈性，能使該溫度感測棒前端的溫接點得以接觸該保護套管末端。

再如中國臺灣公告編號472138號專利案，另一種熱電偶的結構，是在一個凸緣節流器上利用螺絲鎖固有一個可拆除凸緣，且一個保護套管利用球狀樞軸安裝在該凸緣節流器內部，一個熱電偶安裝在該可拆除凸緣上，且前端能伸入該保護套管中。

以上兩個前案技術中，所述熱電偶的測溫位置相對所述保護套管皆呈固定，無法進行調整。

又如中國臺灣M292692號專利案，一個熱電偶能伸入一個爐管內部量測溫度，且該熱電偶是在一個保護套管內部穿設有五條導線。雖然其說明書中揭露可以藉由所述導線在該保護套管內的移動，可以量測爐管內五個不同位置的溫度，但是并未揭示所述導線如何調整，以及調整后如何定位。

又再如中國臺灣M409425號專利案，一種測溫裝置，包括一個支架、一個連接于該支架且插置于熔融液體中的保護套管及一個設置在該保護套管內的感溫單元，雖然其說明書揭露該感溫單元的一個熱電偶直向插入該保護套管內部后，能調整其位置，并使其測溫點距離保護套管底部有一個預定的高度，但是也未揭示該熱電偶如何調整位置，以及調整位置后如何定位。

再者，長晶爐在制作硅晶錠制程時，其制程主要可區分為加熱、熔化、長晶、退火、冷卻等五段主要步驟，在各段制程步驟中，其制程參數皆會影響各段別的長晶條件，進而影響其長晶品質。其中，各段制程參數中又以溫度為其長晶條件的重要依據之一。且在硅晶錠的成長過程中，都會于長晶爐內使用一個熱電偶，用以當作量測長晶爐內溫度的重要量測工具，且熱電偶的一個感測端部相對于長晶爐內熱源的距離不同時，所量測得到的溫度結果也會有所不同。在同一個廠內的不同長晶爐，即使使用相同的參數條件作溫度控制，但是當熱電偶的感測端部相對于長晶爐內熱源的距離彼此不同時，其所回饋溫度的結果也有所不同，不但無法穩定控制長晶參數，也會導致后續硅芯片的品質不一，因此，熱電偶的感測端部能相對于長晶爐內熱源精確調整，以及調整后能達到定位，為相當重要并亟待解決的課題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種結構簡單、調整容易且精確，并能提升產品制程品質的可調式測溫裝置。

本發明的可調式測溫裝置，包含一個內安裝座、一個外安裝座、一個連結在該內安裝座與該外安裝座之間的伸縮座、一個調整單元、一個保護套管及一個熱電偶，該內安裝座呈中空狀，沿一條軸線設置，該外安裝座呈中空狀，沿該軸線與該內安裝座間隔設置，該伸縮座呈中空狀，沿該軸線連結在該內安裝座與該外安裝座之間，且具有可撓伸縮性，該調整單元具有一個連結于該內安裝座與該外安裝座之間的調整組，該調整組能驅動該外安裝座相對于該內安裝座調整位移，該保護套管固設在該內安裝座，且呈單向開放的中空管狀，并具有一個朝與該外安裝座反向延伸的末端部，該熱電偶具有一個相對于該外安裝座產生定位的定位端部、一個對應該末端部的感測端部及一個介于該定位端部與該感測端部之間且穿設在該外安裝座、該伸縮座與該內安裝座內部的中段。

本發明的可調式測溫裝置，該調整單元還具有一個連結于該內安裝座的內支架及一個連結于該外安裝座的外支架，該調整組連結在該內支架與該外支架之間。

本發明的可調式測溫裝置，該調整單元的調整組還具有一個固設在該內支架的固定件、一個套設在該固定件的移動件及一個設置在該固定件與該移動件之間的驅動件，該驅動件具有一個軸設在該固定件的齒輪及一個設置在該移動件且與該齒輪嚙合的齒條。

本發明的可調式測溫裝置，該調整單元的調整組的固定件具有一對間隔設置的側板及一個設置在所述側板之間的空間，該齒輪設置在該空間中，該移動件具有一個相鄰于所述側板的端壁、一個自該端壁凸設且伸設在該空間中的凸肋及一個與該端壁連結且固設在該外支架的頂壁，該齒條設置在該凸肋。

本發明的可調式測溫裝置，該調整單元的調整組還具有一個沿該調整方向延伸且固設在該固定件的導引件，該移動件具有一個設置在該頂壁且供該導引件穿設的導孔。

本發明的可調式測溫裝置，該調整單元的調整組還具有一個與該齒輪同軸固設且設置在該固定件外側的旋鈕。