[發(fā)明專利]具有安全性和靈活性的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210304449.8
• 申請日: 2012-08-24
• 公開（公告）號: CN103628066A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 韋建敏;張小波;張曉蓓
• 申請（專利權(quán)）人: 成都虹華環(huán)保科技有限公司
• 主分類號: C23F1/46
• 分類號: C23F1/46
• 代理公司: 成都行之專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51220
• 代理人: 謝敏

1.具有安全性和靈活性的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)，其特征在于：包括依次連接的蝕刻生產(chǎn)線用水設(shè)備（1）、中轉(zhuǎn)母液罐（2）、母液罐（3）、堿性蝕刻液循環(huán)再生設(shè)備組（6）、再生子液罐組（8）、配液罐（11）、過濾器（12）、子液罐組（16），子液罐組（16）再與蝕刻生產(chǎn)線用水設(shè)備（1）連接形成循環(huán)，所述相鄰的兩個部件之間均設(shè)置有高壓泵。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有安全性和靈活性的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)，其特征在于：所述堿性蝕刻液循環(huán)再生設(shè)備組（6）包括三通電子閥門Ⅰ（4）和兩個并聯(lián)的堿性蝕刻液循環(huán)再生設(shè)備（5），所述三通電子閥門Ⅰ（4）的兩個出口端分別與兩個并聯(lián)的堿性蝕刻液循環(huán)再生設(shè)備（5）的進(jìn)口端連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有安全性和靈活性的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)，其特征在于：所述堿性蝕刻液循環(huán)再生設(shè)備（5）包括電解槽（17）和與電解槽（17）相連的溫控槽（19），電解槽（17）上端設(shè)有將電解槽（17）和溫控槽（19）連通的兩根平行的溢流管（18），電解槽（17）下端設(shè)有循環(huán)管（24）和出水管（22），循環(huán)管（24）一端與電解槽（17）連通，另一端與溫控槽（19）下端連通，循環(huán)管（24）上還設(shè)有循環(huán)泵（25），出水管（22）上設(shè)有控制閥門Ⅰ（26），所述溫控槽（19）底端還設(shè)有母液管（20），母液管上同樣設(shè)有控制閥門Ⅱ（23）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)，其特征在于：所述溫控槽（19）的下端還設(shè)有排污管，排污管上設(shè)有開關(guān)閥門（21），所述排污管與出水管連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有安全性和靈活性的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)，其特征在于：所述再生子液罐組（8）包括三通電子閥門ⅡⅢ（7）和兩個并聯(lián)的再生子液罐（9）和備用再生子液罐（10），所述三通電子閥門Ⅱ（7）的兩個出口端分別與兩個并聯(lián)的再生子液罐（9）和備用再生子液罐（10）的進(jìn)口端連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有安全性和靈活性的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)，其特征在于：所述子液罐組（16）包括三通電子閥門Ⅲ（13）和兩個并聯(lián)的子液罐（15）和備用子液罐（14），所述三通電子閥門Ⅲ（13）的兩個出口端分別與兩個并聯(lián)的子液罐（15）和備用子液罐（14）的進(jìn)口端連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有安全性和靈活性的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)，其特征在于：所述具有安全性和靈活性的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)全部采用封閉式循環(huán)結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有安全性和靈活性的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)，其特征在于：所述具有安全性和靈活性的堿性蝕刻液循環(huán)再生系統(tǒng)連接有PLC自動控制系統(tǒng)。