[發明專利]一種帶有運動坐標反饋的子孔徑拼接面形檢測裝置有效
| 申請號: | 201210304174.8 | 申請日: | 2012-08-24 |
| 公開(公告)號: | CN102788562A | 公開(公告)日: | 2012-11-21 |
| 發明(設計)人: | 賈辛;徐富超;謝偉民;邢廷文 | 申請(專利權)人: | 中國科學院光電技術研究所 |
| 主分類號: | G01B11/24 | 分類號: | G01B11/24 |
| 代理公司: | 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251 | 代理人: | 楊學明;賈玉忠 |
| 地址: | 610209 *** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 帶有 運動 坐標 反饋 孔徑 拼接 檢測 裝置 | ||
1.一種帶有運動坐標反饋的子孔徑拼接面形檢測裝置,其特征在于,包括:
計算機(1)、激光干涉儀測量頭(2)、待測鏡(3)、二維平移臺(4)、第一反射鏡(5)、第二反射鏡(6)、激光源(7)、準直光學系統(8)、第一分光鏡(9)、第二分光鏡(10)、第三分光鏡(11)、第一接收器(12)、第一干涉測量系統(13)、第二接收器(14)、第二干涉測量系統(15)、波長補償器(16)、第四分光鏡(17)、第五分光鏡(18)、第三接收器(19)、第三干涉測量系統(20)、第四接收器(21)、第四干涉測量系統(22)、第六分光鏡(23)、第七分光鏡(24)、第五接收器(25)、第五干涉測量系統(26),其中:計算機(1)與激光干涉儀測量頭(2)連接,同時計算機(1)與第一接收器(12),第二接收器(14),第三接收器(19),第四接收器(21),第五接收器(25)連接,激光干涉儀測量頭(2)放置在待測鏡(3)上方,待測鏡(3)放置在二維平移臺(4)上,第一反射鏡(5)和第二反射鏡(6)分別貼著待測鏡(3)兩個側面放置,激光源(7)發射的光經過準直光學系統(8)后經過第一分光鏡(9),第一分光鏡(9)一面的中心對準準直光學系統(8),一面的中心對準第二分光鏡(10),第二分光鏡(10)一面的中心對準第三分光鏡(11),一面的中心對準第一分光鏡(9),一面的中心對準第四分光鏡(17),第三分光鏡(11)放在第一接收器(12)和第二接收器(14)之間,第一干涉測量系統(13)一面對準第一接收器(12),第二干涉測量系統(15)一面對準第二接收器(14),一面對準第二反射鏡(6),第四分光鏡(17)一面的中心對準波長補償器(16),一面的中心對準第五分光鏡(18),第五分光鏡(18)一面的中心對準第六分光鏡(23),一面對準第三接收器(19),一面對準第四接收器(21),第三接收器(19)一面對準第三測量系統(20),第三測量系統(20)一面對準第一反射鏡(5),第四接收器(21)一面對準第四干涉測量系統(22),第四干涉測量系統(22)一面對準第一反射鏡(5),第六分光鏡(23)一面的中心對準第七分光鏡(24),第七分光鏡(24)一面對準第五接收器(25),第五接收器(25)一面對準第五干涉測量系統(26);
計算機(1),用于控制激光干涉儀測量頭(2)測試,將干涉儀測量數據進行分析,將第一接收器(12),第二接收器(14),第三接收器(19),第四接收器(21),第五接收器(25)的測量數據讀入分析;
激光干涉儀測量頭(2),用于測量待測鏡的待測面的面形信息;
待測鏡(3):含有待測面;
二維平移臺(4):用于控制待測鏡在x,y方向移動;
第一反射鏡(5):用于反射干涉測量系統的光線;
第二反射鏡(6):用于反射干涉測量系統的光線;
激光源(7):用于發射測量用激光;
準直光學系統(8),用于準直激光源發出的激光;
第一分光鏡(9):用于將激光改變傳播方向;
第二分光鏡(10):用于將入射的激光分成兩束光出射;
第三分光鏡(11):用于將入射的激光分成兩束光出射;
第一接收器(12),用于探測兩路光的頻率差并產生測量信號,并將測量信號和參考信號轉換為位移量;
第一干涉測量系統(13),利用雙頻激光干涉測長原理,測量對應方向的位移;
第二接收器(14),用于探測兩路光的頻率差并產生測量信號,并將測量信號和參考信號轉換為位移量;
第二干涉測量系統(15),利用雙頻激光干涉測長原理,測量對應方向的位移;
波長補償器(16),用于補償由于溫度,濕度的環境變化引起激光波長的波動;
第四分光鏡(17),用于將入射的兩束光合成一束光出射;
第五分光鏡(18),用于將入射的一束光分成三束光;
第三接收器(19),用于探測兩路光的頻率差并產生測量信號,并將測量信號和參考信號轉換為位移量;
第三干涉測量系統(20),利用雙頻激光干涉測長原理,測量對應方向的位移;
第四接收器(21),用于探測兩路光的頻率差并產生測量信號,并將測量信號和參考信號轉換為位移量;
第四干涉測量系統(22),利用雙頻激光干涉測長原理,測量對應方向的位移;
第六分光鏡(23),用于將入射光束改變光束傳播方向;
第七分光鏡(24),用于將入射光束改變傳播方向;
第五接收器(25),用于探測兩路光的頻率差并產生測量信號,并將測量信號和參考信號轉換為位移量;
第五干涉測量系統(26),利用雙頻激光干涉測長原理,測量對應方向的位移。
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