[發(fā)明專利]一種帶有運(yùn)動坐標(biāo)反饋的子孔徑拼接面形檢測裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210304174.8 | 申請日: | 2012-08-24 |
| 公開(公告)號: | CN102788562A | 公開(公告)日: | 2012-11-21 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 賈辛;徐富超;謝偉民;邢廷文 | 申請(專利權(quán))人: | 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所 |
| 主分類號: | G01B11/24 | 分類號: | G01B11/24 |
| 代理公司: | 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 11251 | 代理人: | 楊學(xué)明;賈玉忠 |
| 地址: | 610209 *** | 國省代碼: | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 帶有 運(yùn)動 坐標(biāo) 反饋 孔徑 拼接 檢測 裝置 | ||
1.一種帶有運(yùn)動坐標(biāo)反饋的子孔徑拼接面形檢測裝置,其特征在于,包括:
計(jì)算機(jī)(1)、激光干涉儀測量頭(2)、待測鏡(3)、二維平移臺(4)、第一反射鏡(5)、第二反射鏡(6)、激光源(7)、準(zhǔn)直光學(xué)系統(tǒng)(8)、第一分光鏡(9)、第二分光鏡(10)、第三分光鏡(11)、第一接收器(12)、第一干涉測量系統(tǒng)(13)、第二接收器(14)、第二干涉測量系統(tǒng)(15)、波長補(bǔ)償器(16)、第四分光鏡(17)、第五分光鏡(18)、第三接收器(19)、第三干涉測量系統(tǒng)(20)、第四接收器(21)、第四干涉測量系統(tǒng)(22)、第六分光鏡(23)、第七分光鏡(24)、第五接收器(25)、第五干涉測量系統(tǒng)(26),其中:計(jì)算機(jī)(1)與激光干涉儀測量頭(2)連接,同時計(jì)算機(jī)(1)與第一接收器(12),第二接收器(14),第三接收器(19),第四接收器(21),第五接收器(25)連接,激光干涉儀測量頭(2)放置在待測鏡(3)上方,待測鏡(3)放置在二維平移臺(4)上,第一反射鏡(5)和第二反射鏡(6)分別貼著待測鏡(3)兩個側(cè)面放置,激光源(7)發(fā)射的光經(jīng)過準(zhǔn)直光學(xué)系統(tǒng)(8)后經(jīng)過第一分光鏡(9),第一分光鏡(9)一面的中心對準(zhǔn)準(zhǔn)直光學(xué)系統(tǒng)(8),一面的中心對準(zhǔn)第二分光鏡(10),第二分光鏡(10)一面的中心對準(zhǔn)第三分光鏡(11),一面的中心對準(zhǔn)第一分光鏡(9),一面的中心對準(zhǔn)第四分光鏡(17),第三分光鏡(11)放在第一接收器(12)和第二接收器(14)之間,第一干涉測量系統(tǒng)(13)一面對準(zhǔn)第一接收器(12),第二干涉測量系統(tǒng)(15)一面對準(zhǔn)第二接收器(14),一面對準(zhǔn)第二反射鏡(6),第四分光鏡(17)一面的中心對準(zhǔn)波長補(bǔ)償器(16),一面的中心對準(zhǔn)第五分光鏡(18),第五分光鏡(18)一面的中心對準(zhǔn)第六分光鏡(23),一面對準(zhǔn)第三接收器(19),一面對準(zhǔn)第四接收器(21),第三接收器(19)一面對準(zhǔn)第三測量系統(tǒng)(20),第三測量系統(tǒng)(20)一面對準(zhǔn)第一反射鏡(5),第四接收器(21)一面對準(zhǔn)第四干涉測量系統(tǒng)(22),第四干涉測量系統(tǒng)(22)一面對準(zhǔn)第一反射鏡(5),第六分光鏡(23)一面的中心對準(zhǔn)第七分光鏡(24),第七分光鏡(24)一面對準(zhǔn)第五接收器(25),第五接收器(25)一面對準(zhǔn)第五干涉測量系統(tǒng)(26);
計(jì)算機(jī)(1),用于控制激光干涉儀測量頭(2)測試,將干涉儀測量數(shù)據(jù)進(jìn)行分析,將第一接收器(12),第二接收器(14),第三接收器(19),第四接收器(21),第五接收器(25)的測量數(shù)據(jù)讀入分析;
激光干涉儀測量頭(2),用于測量待測鏡的待測面的面形信息;
待測鏡(3):含有待測面;
二維平移臺(4):用于控制待測鏡在x,y方向移動;
第一反射鏡(5):用于反射干涉測量系統(tǒng)的光線;
第二反射鏡(6):用于反射干涉測量系統(tǒng)的光線;
激光源(7):用于發(fā)射測量用激光;
準(zhǔn)直光學(xué)系統(tǒng)(8),用于準(zhǔn)直激光源發(fā)出的激光;
第一分光鏡(9):用于將激光改變傳播方向;
第二分光鏡(10):用于將入射的激光分成兩束光出射;
第三分光鏡(11):用于將入射的激光分成兩束光出射;
第一接收器(12),用于探測兩路光的頻率差并產(chǎn)生測量信號,并將測量信號和參考信號轉(zhuǎn)換為位移量;
第一干涉測量系統(tǒng)(13),利用雙頻激光干涉測長原理,測量對應(yīng)方向的位移;
第二接收器(14),用于探測兩路光的頻率差并產(chǎn)生測量信號,并將測量信號和參考信號轉(zhuǎn)換為位移量;
第二干涉測量系統(tǒng)(15),利用雙頻激光干涉測長原理,測量對應(yīng)方向的位移;
波長補(bǔ)償器(16),用于補(bǔ)償由于溫度,濕度的環(huán)境變化引起激光波長的波動;
第四分光鏡(17),用于將入射的兩束光合成一束光出射;
第五分光鏡(18),用于將入射的一束光分成三束光;
第三接收器(19),用于探測兩路光的頻率差并產(chǎn)生測量信號,并將測量信號和參考信號轉(zhuǎn)換為位移量;
第三干涉測量系統(tǒng)(20),利用雙頻激光干涉測長原理,測量對應(yīng)方向的位移;
第四接收器(21),用于探測兩路光的頻率差并產(chǎn)生測量信號,并將測量信號和參考信號轉(zhuǎn)換為位移量;
第四干涉測量系統(tǒng)(22),利用雙頻激光干涉測長原理,測量對應(yīng)方向的位移;
第六分光鏡(23),用于將入射光束改變光束傳播方向;
第七分光鏡(24),用于將入射光束改變傳播方向;
第五接收器(25),用于探測兩路光的頻率差并產(chǎn)生測量信號,并將測量信號和參考信號轉(zhuǎn)換為位移量;
第五干涉測量系統(tǒng)(26),利用雙頻激光干涉測長原理,測量對應(yīng)方向的位移。
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