[發(fā)明專利]一種帶有運(yùn)動坐標(biāo)反饋的子孔徑拼接面形檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210304174.8
• 申請日: 2012-08-24
• 公開（公告）號: CN102788562A
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賈辛;徐富超;謝偉民;邢廷文
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 11251
• 代理人: 楊學(xué)明;賈玉忠

1.一種帶有運(yùn)動坐標(biāo)反饋的子孔徑拼接面形檢測裝置，其特征在于，包括：

計(jì)算機(jī)（1）、激光干涉儀測量頭（2）、待測鏡（3）、二維平移臺（4）、第一反射鏡（5）、第二反射鏡（6）、激光源（7）、準(zhǔn)直光學(xué)系統(tǒng)（8）、第一分光鏡（9）、第二分光鏡（10）、第三分光鏡（11）、第一接收器（12）、第一干涉測量系統(tǒng)（13）、第二接收器（14）、第二干涉測量系統(tǒng)（15）、波長補(bǔ)償器（16）、第四分光鏡（17）、第五分光鏡（18）、第三接收器（19）、第三干涉測量系統(tǒng)（20）、第四接收器（21）、第四干涉測量系統(tǒng)（22）、第六分光鏡（23）、第七分光鏡（24）、第五接收器（25）、第五干涉測量系統(tǒng)（26），其中：計(jì)算機(jī)（1）與激光干涉儀測量頭（2）連接，同時計(jì)算機(jī)（1）與第一接收器（12），第二接收器（14），第三接收器（19），第四接收器（21），第五接收器（25）連接，激光干涉儀測量頭（2）放置在待測鏡（3）上方，待測鏡（3）放置在二維平移臺（4）上，第一反射鏡（5）和第二反射鏡（6）分別貼著待測鏡（3）兩個側(cè)面放置，激光源（7）發(fā)射的光經(jīng)過準(zhǔn)直光學(xué)系統(tǒng)（8）后經(jīng)過第一分光鏡（9），第一分光鏡（9）一面的中心對準(zhǔn)準(zhǔn)直光學(xué)系統(tǒng)（8），一面的中心對準(zhǔn)第二分光鏡（10），第二分光鏡（10）一面的中心對準(zhǔn)第三分光鏡（11），一面的中心對準(zhǔn)第一分光鏡（9），一面的中心對準(zhǔn)第四分光鏡（17），第三分光鏡（11）放在第一接收器（12）和第二接收器（14）之間，第一干涉測量系統(tǒng)（13）一面對準(zhǔn)第一接收器（12），第二干涉測量系統(tǒng)（15）一面對準(zhǔn)第二接收器（14），一面對準(zhǔn)第二反射鏡（6），第四分光鏡（17）一面的中心對準(zhǔn)波長補(bǔ)償器（16），一面的中心對準(zhǔn)第五分光鏡（18），第五分光鏡（18）一面的中心對準(zhǔn)第六分光鏡（23），一面對準(zhǔn)第三接收器（19），一面對準(zhǔn)第四接收器（21），第三接收器（19）一面對準(zhǔn)第三測量系統(tǒng)（20），第三測量系統(tǒng)（20）一面對準(zhǔn)第一反射鏡（5），第四接收器（21）一面對準(zhǔn)第四干涉測量系統(tǒng)（22），第四干涉測量系統(tǒng)（22）一面對準(zhǔn)第一反射鏡（5），第六分光鏡（23）一面的中心對準(zhǔn)第七分光鏡（24），第七分光鏡（24）一面對準(zhǔn)第五接收器（25），第五接收器（25）一面對準(zhǔn)第五干涉測量系統(tǒng)（26）；

計(jì)算機(jī)（1），用于控制激光干涉儀測量頭（2）測試，將干涉儀測量數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，將第一接收器（12），第二接收器（14），第三接收器（19），第四接收器（21），第五接收器（25）的測量數(shù)據(jù)讀入分析；

激光干涉儀測量頭（2），用于測量待測鏡的待測面的面形信息；

待測鏡（3）：含有待測面；

二維平移臺（4）：用于控制待測鏡在x，y方向移動；

第一反射鏡（5）：用于反射干涉測量系統(tǒng)的光線；

第二反射鏡（6）：用于反射干涉測量系統(tǒng)的光線；

激光源（7）：用于發(fā)射測量用激光；

準(zhǔn)直光學(xué)系統(tǒng)（8），用于準(zhǔn)直激光源發(fā)出的激光；

第一分光鏡（9）：用于將激光改變傳播方向；

第二分光鏡（10）：用于將入射的激光分成兩束光出射；

第三分光鏡（11）：用于將入射的激光分成兩束光出射；

第一接收器（12），用于探測兩路光的頻率差并產(chǎn)生測量信號，并將測量信號和參考信號轉(zhuǎn)換為位移量；

第一干涉測量系統(tǒng)（13），利用雙頻激光干涉測長原理，測量對應(yīng)方向的位移；

第二接收器（14），用于探測兩路光的頻率差并產(chǎn)生測量信號，并將測量信號和參考信號轉(zhuǎn)換為位移量；

第二干涉測量系統(tǒng)（15），利用雙頻激光干涉測長原理，測量對應(yīng)方向的位移；

波長補(bǔ)償器（16），用于補(bǔ)償由于溫度，濕度的環(huán)境變化引起激光波長的波動；

第四分光鏡（17），用于將入射的兩束光合成一束光出射；

第五分光鏡（18），用于將入射的一束光分成三束光；

第三接收器（19），用于探測兩路光的頻率差并產(chǎn)生測量信號，并將測量信號和參考信號轉(zhuǎn)換為位移量；

第三干涉測量系統(tǒng)（20），利用雙頻激光干涉測長原理，測量對應(yīng)方向的位移；

第四接收器（21），用于探測兩路光的頻率差并產(chǎn)生測量信號，并將測量信號和參考信號轉(zhuǎn)換為位移量；

第四干涉測量系統(tǒng)（22），利用雙頻激光干涉測長原理，測量對應(yīng)方向的位移；

第六分光鏡（23），用于將入射光束改變光束傳播方向；

第七分光鏡（24），用于將入射光束改變傳播方向；

第五接收器（25），用于探測兩路光的頻率差并產(chǎn)生測量信號，并將測量信號和參考信號轉(zhuǎn)換為位移量；

第五干涉測量系統(tǒng)（26），利用雙頻激光干涉測長原理，測量對應(yīng)方向的位移。