[發明專利]一種非制冷紅外成像焦平面陣列探測器在審
| 申請號： | 201210303612.9 | 申請日： | 2012-08-23 |
| 公開（公告）號： | CN103630246A | 公開（公告）日： | 2014-03-12 |
| 發明（設計）人： | 高超群;焦斌斌;劉瑞文;尚海平;陳大鵬;葉甜春 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G01J5/20 | 分類號： | G01J5/20;G01J5/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 王寶筠 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制冷 紅外 成像 平面 陣列 探測器 | ||
1.一種非制冷紅外成像焦平面陣列探測器，其特征在于，包括：透明襯底、具有高熱導系數的襯底傳熱結構和微懸臂梁單元，其中，所述微懸臂梁單元以非嵌套的方式通過所述襯底傳熱結構平鋪于所述透明襯底上；
所述微懸臂梁單元包括熱形變結構、反光板復合結構和支撐結構；
所述支撐結構與所述熱形變結構各有兩組，分別位于所述反光板復合結構的兩側，每組熱形變結構一端與所述支撐結構相連接，一端與所述反光板復合結構相連接；
所述反光板復合結構采用雙材料結構，其中，朝向所述透明襯底的一側由金屬材料制作，而朝向目標物體的一層由具有高紅外吸收系數的材料制作。
2.根據權利要求1所述的非制冷紅外成像焦平面陣列探測器，其特征在于，所述透明襯底為玻璃襯底或藍寶石襯底。
3.根據權利要求1所述的非制冷紅外成像焦平面陣列探測器，其特征在于，所述襯底傳熱結構由鉻、鋁或金制作而成。
4.根據權利要求1所述的非制冷紅外成像焦平面陣列探測器，其特征在于，所述反光板復合結構朝向所述透明襯底的一側采用鋁或金制作而成；所述反光板復合結構朝向目標物體的一側采用氮化硅或氧化硅制作而成。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的非制冷紅外成像焦平面陣列探測器，其特征在于，所述支撐結構采用具有低熱導系數的材料制作而成。
6.根據權利要求1至4中任一項所述的非制冷紅外成像焦平面陣列探測器，其特征在于，所述熱形變結構包括熱隔離梁和熱形變梁。
7.根據權利要求6所述的非制冷紅外成像焦平面陣列探測器，其特征在于，所述熱隔離梁和所述熱形變梁在同一平面內間隔回折連接。
8.根據權利要求6所述的非制冷紅外成像焦平面陣列探測器，其特征在于，所述熱隔離梁采用具有低熱導系數的材料制作而成。
9.根據權利要求6所述的非制冷紅外成像焦平面陣列探測器，其特征在于，所述熱形變梁為雙材料結構，且兩種材料膨脹系數差異較大而楊氏模量差異較小。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院微電子研究所，未經中國科學院微電子研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210303612.9/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種隔熱防水的屋頂
- 下一篇：一種減震器及采用該減震器的空調器底盤組件
