[發明專利]用于表征玻璃板片特征的裝置和方法

有效

• 申請號: 201210302755.8
• 申請日: 2012-08-23
• 公開（公告）號: CN102951838A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: R·哈根;M·A·約瑟夫二世;P·R·勒布朗
• 申請（專利權）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: C03B35/00
• 分類號: C03B35/00;G01B11/24;G01B11/06;G01B21/06
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 丁曉峰

相關申請的交互參照

本申請根據35U.S.C.§119要求對2011年8月24日提交的美國臨時專利申請系列號61/526860的優先權益，本文依賴于該專利的內容并以參見方式引入其全部內容。

技術領域

本發明涉及用來表征玻璃板片特征的裝置和方法，尤其是，涉及適于在玻璃板片移動時測量玻璃板片一個或多個選定屬性的裝置。

背景技術

本發明涉及控制正在沿著預定路徑進行傳輸的玻璃板片的運動和姿態，以使諸如形貌檢測（例如，微觀形貌，或納米級上的形貌）之類的在線測量能有高的分辨率。薄玻璃板片的精確在線測量，尤其是，納米級特征的測量，一貫地高度依賴于玻璃板片是否以預定的取向呈現在預定平面內，玻璃板是否消除了絕大部分的振動和擺動。諸如對厚度、波度和波筋的高精度測量那樣的挑戰，高度地依賴于玻璃表面是否給于測量儀以可重現的、高容差的材料處理。

諸如對波筋和條紋的在線檢測那樣的在線過程的控制和質量測量遇到的問題是，在非質量區域內只是簡單地夾住玻璃之時進行檢測時缺乏可重復性。材料提出挑戰的很大部分是，要保持玻璃板片沿著生產線移動，同時懸空在高架傳輸器上的運載器上方。該種限制經常使得測量在生產處理線的單獨分開的檢測部分上進行，即完全是離線的，或者與粗糙的傳統在線材料處理相容的測量技術就被局限在其特性上（例如，分辨率）。

在諸如硅晶片或紙和塑料幅材的其它行業內，高分辨率的度量是在線進行的，但在這些情形中，產品是直接與支承板接觸的，如與晶片或輥子接觸，與大多數的幅材相接觸。適用于顯示器應用的玻璃板片上的尺寸和接觸限制對操作處理提出了困難挑戰。

發明內容

通常厚度等于或小于1mm的薄玻璃板片的測量會呈現出一定的曲率量或翹曲，當測量玻璃的某些屬性時，特別是如果玻璃較大（例如，大于約4m²）的話，曲率或翹曲會造成困難。為了克服該缺點，首先必須弄平玻璃。過去，弄平和穩定玻璃板片的操作涉及到從內聯路徑中取出玻璃板片，將玻璃板片傳送到精密的花崗巖底座，然后，將個別的玻璃板片抽真空到真空臺，作出所要的測量，取出玻璃板片，然后對另一玻璃板片進行相同的操作。如此逐個操作的方法增加了相當的時間，并耗費了制造過程成本。如果需要在玻璃板片沿著制造生產線運輸的同時來測量該玻璃板片，則測量大而薄玻璃板片的挑戰就會加劇。

在某些制造過程中，通過將玻璃板片夾緊到高架傳輸器內的移動構件上，玻璃板片可從一個位置傳送到另一位置。如果能夠在玻璃板片運動時完成一個或多個上述特征的表征，且無需先拆卸玻璃板片和將玻璃板片定位在測量臺上作為一個靜止的物體，那么，這樣會是有利的。

為此目的，本發明披露了一種對移動的玻璃板片作精密測量的裝置，移動的玻璃板片例如是適用于液晶顯示器中的玻璃板片，通過約束玻璃板片，同時仍由傳輸器的承載器來保持住，由此來作精密的測量。裝置的材料操作特征包括空氣刀和壓力-真空（PV）空氣軸承，它們布置成線性的方式，使得進入裝置的玻璃板片經受非接觸但逐漸增加的約束力，直到可進行測量的時刻。然后出現逐漸減小的約束力，直到玻璃板片從裝置中釋放出來為止。該逐漸變化力的技術沿著玻璃板片移動方向應用，并還沿著玻璃板片高度垂直向上施加，以便限制玻璃板片的運動，而不在靠近傳輸器承載器的捏合點處約束玻璃板片。

因此，本發明披露了一種空氣軸承，空氣軸承包括：環形的內多孔體部分，內多孔體部分包括位于內多孔體部分表面內的圓形槽，以及多個與圓形槽相交的徑向槽，內多孔體部分形成延伸通過空氣軸承厚度的中心通道；圍繞內多孔體部分設置的外多孔體部分，其中，外多孔體部分包括多個位于外多孔體部分表面內的連續槽；以及其中，外多孔體部分的每個連續槽包括多個真空端口。內多孔體部分的圓形槽和內多孔體部分的徑向槽將內多孔體部分的表面分成為多個子表面，以及多個子表面中的子表面包括真空端口。較佳地，多個子表面中的每個子表面包括真空端口。

外多孔體部分較佳地包括弓形的外周界，較佳地，外多孔體部分包括外周界，以使空氣軸承包括環形的內多孔體部分和圍繞內多孔體部分設置并與內多孔體部分同心的環形的外多孔體部分。在某些實施例中，空氣軸承包括多個內多孔體部分。例如，多個內多孔體部分可沿著水平軸線對齊。