[發明專利]光學元件體內激光損傷在線探測方法和裝置

無效

• 申請號: 201210302001.2
• 申請日: 2012-08-23
• 公開（公告）號: CN102841055A
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發明（設計）人: 胡國行;趙元安;李大偉;劉曉鳳;柯立公
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01N21/17
• 分類號: G01N21/17
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種光學元件體內激光損傷在線探測方法，應用脈沖激光器發出的激光輻照光學元件體內，觀測光學元件體內激光輻照區域的圖像變化判斷損傷是否產生，其特征在于：所述的脈沖激光器是Nd：YAG脈沖激光器，采用HeNe連續激光照亮光學元件體內激光輻照區域，將大景深、高分辨率的成像裝置從正側面將光學元件體內激光輻照區域成像在探測器上，通過計算機控制損傷在線監測系統和待測光學元件的同步移動，以消除待測光學元件移動帶來的離焦現象。

2.實施權利要求1所述的光學元件體內激光損傷探測方法的裝置，其特征在于該裝置包含HeNe連續激光器（1），沿該HeNe連續激光器（1）的輸出光方向依次是雙色鏡（3）、聚焦透鏡（4）和待測光學元件（5），所述的雙色鏡（3）與光路成45°，在所述的雙色鏡（3）的45°方向設置Nd:YAG激光器，該Nd:YAG激光器發出的激光經所述的雙色鏡（3）反射后與所述的HeNe連續激光器（1）輸出的激光同光路經所述的聚焦透鏡（4）照射在待測光學元件（5）體內上，所述的待測光學元件（5）置于樣品平移臺（9）上，在所述的待測光學元件（5）的側方向是探測裝置移動平臺（10），在該探測裝置移動平臺（10）上裝有成像透鏡組（6）和CCD探測器（7），該CCD探測器（7）的輸出端與計算機（8）的輸入端相連，該裝置的光路是，Nd:YAG激光器（2）發出脈沖激光經雙色鏡（3）反射后由聚焦透鏡（4）聚焦在待測光學元件（5）的體內構成一個Nd:YAG激光照射區域；由HeNe激光器（1）發出的連續的HeNe激光透過雙色鏡（3）與Nd:YAG激光相同的光路中照亮被Nd:YAG激光照射區域；所述的HeNe激光經探測區域的散射光通過正側面的成像透鏡組（6）收集并成像在CCD探測器（7）上，CCD探測器（7）收集的待測光學元件（5）的損傷數據輸入所述的計算機（8），該計算機對損傷數據進行處理；

所述的計算機（8）經第一運動控制卡（13）控制第一電機驅動器（14）驅動第一步進電機（15）帶動所述的樣品移動平臺（9）運動，使所述的待測光學元件（5）按需求的軌跡運動，所述的計算機（8）經第二運動控制卡（16）控制第二電機驅動器（17）驅動第二步進電機（18）帶動所述的探測裝置移動平臺（10）運動，使所述的成像透鏡組（6）和CCD探測器（7）整體運動，與所述的待測光學元件（5）的運動相配合，以消除離焦現象。

3.根據權利要求2所述的光學元件體內激光損傷探測裝置，其特征在于所述的成像透鏡組（6）為大景深、高分辨率的成像透鏡組。