[發明專利]偏振元件單元、其透射率設定方法及光照射裝置無效
| 申請號： | 201210301156.4 | 申請日： | 2012-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN102955190A | 公開（公告）日： | 2013-03-06 |
| 發明（設計）人： | 木尾智彥;益田秀之 | 申請（專利權）人： | 優志旺電機株式會社 |
| 主分類號： | G02B5/30 | 分類號： | G02B5/30;G02B5/18 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐冰冰;黃劍鋒 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 偏振 元件 單元 透射率 設定 方法 照射 裝置 | ||
1.一種偏振元件單元，使來自光源的光偏振，其特征在于，
將多個線柵偏振元件，以各端部在來自光源的光所通過的方向上重疊的方式沿著一個方向排列配置在框體內；
在上述框體上，與排列配置的各個偏振元件相對應而設置有對通過各偏振元件的光進行遮光的遮光機構；
上述遮光機構沿著上述一個方向排列配置，各遮光機構在相對于上述一個方向交叉的方向上，從上述框體向上述偏振元件上的突出量可變。
2.如權利要求1所述的偏振元件單元，其特征在于，
上述遮光機構相對于一個偏振元件設有多個。
3.一種光照射裝置，其特征在于，具備：
光射出部，將多個光源元件沿著一個方向排列；
反射鏡，反射從該光射出部射出的光，并聚光成沿著上述一個方向延伸的線狀；以及
偏振元件單元，設置在上述反射鏡的光射出側，具備使由該反射鏡反射的光偏振的偏振元件；
該光照射裝置對在相對于上述一個方向正交的方向上搬送的工件，照射由上述偏振元件單元偏振的偏振光；
在該光照射裝置中，使用權利要求1或權利要求2的偏振元件單元作為上述偏振元件單元。
4.一種偏振元件單元的透射率的設定方法，該偏振元件單元為，將多個偏振元件，以各端部在來自光源的光所通過的方向上重疊的方式沿著一個方向排列配置在框體內，在該框體上，與排列配置的各個偏振元件相對應而設置有對通過各偏振元件的光進行遮光的遮光機構，該偏振元件單元的透射率的設定方法的特征在于，包含：
第1工序，測定上述多個偏振元件的各自的透射率；以及
第2工序，以成為與上述第1工序中測定出的多個偏振元件中、表示最低透射率的偏振元件的透射率相同的方式，通過由對應的遮光機構進行遮光來使其他偏振元件的透射率降低。
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