[發明專利]晶體定向生長熱均衡裝置

無效

• 申請號: 201210299507.2
• 申請日: 2012-08-13
• 公開（公告）號: CN103590095A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 王有林
• 申請（專利權）人: 上海仁翔新材料科技有限公司
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00;B22D27/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.晶體定向生長熱均衡裝置，其特征是：采用單獨的散熱機構安置在坩堝支撐平臺底部，通過該單獨散熱機構上的四塊運動隔板(3)、(5)的同步運動，向四面開合，調整四塊運動隔板(3)、(5)開合的速度及開合尺寸大小來實現散熱及對溫度的精確控制。

2.根據權利要求1所述的晶體定向生長熱均衡裝置，其特征是：采用四方向同步開合方式，達到從中心點向邊緣散熱的效果，通過對開合大小、速度的精確控制，實現良好的溫度梯度控制。

3.根據權利要求1所述的晶體定向生長熱均衡裝置，其特征是：從中心點向邊緣散熱達到精確控制，依靠四方向運動來實現，可根據設備外形不同設計為2方向、6方向、8方向等運動模式；其隔熱開關開孔形狀根據散熱平臺外形不同及散熱工藝需求不同而改變，主要形狀有圓形、橢圓形、正方形、長方形、菱形等。

4.根據權利要求1所述的晶體定向生長熱均衡裝置，其特征是：采用主軸(10)驅動，通過同步鏈條(8)帶動同步從動軸(7)實現同步。

5.根據權利要求1所述的晶體定向生長熱均衡裝置，其特征是：采用主動軸(10)、同步從動軸上(7)的齒輪(4)與運動隔板(3)、(5)兩邊的齒條(6)嚙合，驅動運動隔板(3)、(5)開合。

6.根據權利要求1所述的晶體定向生長熱均衡裝置，其特征是：爐內空間可減小，上爐體和內部隔熱籠縱向高度可壓縮1/4，節約相應的不銹鋼材料和保溫材料的使用。

7.根據權利要求1所述的晶體定向生長熱均衡裝置，其特征是：上部水冷銅電極長度可減短1/2。

8.根據權利要求1所述的晶體定向生長熱均衡裝置，其特征是：無需安裝與隔熱籠運動相配套的電氣控制、伺服驅動和伺服電機、運動及傳動機構，可節約整體造價的5-8％。