[發明專利]軸錐鏡透射波面的測量方法

有效

• 申請號: 201210297844.8
• 申請日: 2012-08-20
• 公開（公告）號: CN102798353A
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發明（設計）人: 袁喬;曾愛軍;張善華;黃惠杰
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種軸錐鏡透射波面的測量方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

①制備凹面錐形反射鏡：根據待測軸錐鏡制作與之匹配的凹面錐形反射鏡（4）：該凹面錐形反射鏡（4）的錐角式中β=arcsin{nsin[θ-arcsin(sinθn)]}]]>表示待測軸錐鏡（3）對光束的折射角，其中n，θ分別為待測軸錐鏡（3）的折射率和錐角；凹面錐形反射鏡（4）的半徑R1≥Rcosβ，其中R表示透過待測軸錐鏡（3）的光束的半徑；

②安裝測試裝置：在移相干涉儀（1）輸出的平行光束方向依次置入平面標準鏡（2）、待測軸錐鏡（3）和凹面錐形反射鏡（4），所述的待測軸錐鏡（3）的錐面朝向移相干涉儀（1）的出光方向，所述的凹面錐形反射鏡（4）的凹面朝向移相干涉儀（1）的出光方向；

③調整光路：調整所述的平面標準鏡（2）的平行平面與所述的平行光束垂直；調整所述的待測軸錐鏡（3）的平面與測量光束垂直，同時保證待測軸錐鏡（3）的中軸與移相干涉儀（1）出射光束的中軸重合；調整所述的凹面錐形反射鏡（4），使所述的凹面錐形反射鏡（4）的中軸與待測軸錐鏡（3）的中軸重合；

④測量：所述的移相干涉儀（1）出射的光束經所述的平面標準鏡（2）形成平行的測量光束，經所述的平面標準鏡（2）返回的光束稱為參考光束；所述的測量光束透過所述的待測軸錐鏡（3）經所述的凹面錐形反射鏡（4）反射沿原路返回，該原路返回的測量光束與平面標準鏡（2）返回的參考光束產生干涉條紋；調整待測軸錐鏡（3）和凹面錐形反射鏡（4）之間的距離獲得清晰的干涉條紋，利用所述的移相干涉儀（1）檢測所述的干涉條紋，得到待測軸錐鏡（3）的透射波面。

2.根據權利要求1所述的軸錐鏡透射波面的測量方法，其特征在于，所述的待測軸錐鏡為凸面軸錐鏡或凹面軸錐鏡。