[發明專利]鹽、光致抗蝕劑組合物和用于制備光致抗蝕劑圖案的方法

無效

• 申請號: 201210297407.6
• 申請日: 2012-08-20
• 公開（公告）號: CN102955359A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 吉田勛;向井優一;市川幸司
• 申請（專利權）人: 住友化學株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/00;C07C381/12;C07C309/17;C07D307/00;C07C309/12;C07D327/08;C07D333/46;C07D335/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 賀衛國

1.一種光致抗蝕劑組合物，所述光致抗蝕劑組合物包含：樹脂，所述樹脂在堿水溶液中難溶或不溶但是通過酸的作用可溶，以及由式(I)表示的鹽：

其中Q¹和Q²各自獨立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，

L¹表示C1-C30三價脂族飽和烴基，其中氫原子可以用氟原子替換并且其中亞甲基可以用氧原子、-NR³-或羰基替換，其中R³表示氫原子或C1-C6烷基，

W¹和W²各自獨立地表示C3-C36脂環烴環，其中亞甲基可以用氧原子、硫原子、-NR⁴-、磺酰基或羰基替換，其中R⁴表示氫原子或C1-C6烷基，R¹和R²各自獨立地表示羥基或C1-C6烷基，

t¹和t²各自獨立地表示0至2的整數，并且

Z⁺表示有機陽離子。

2.根據權利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其中L¹由式(L¹-1)、(L¹-2)和(L¹-3)中的任一項表示：

(L¹-1)????(L¹-2)????(L¹-3)

其中X⁰表示單鍵、

可以具有氟原子的C1-C14二價脂族烴基、

或者由式(a-1)表示的基團：

(a-1)

其中s表示0或1的整數，X¹⁰和X¹¹各自獨立地表示氧原子、羰基、羰基氧基或氧基羰基，A¹⁰和A¹¹各自獨立地表示可以具有氟原子的C1-C12二價脂族烴基，A¹²表示單鍵或可以具有氟原子的C1-C12二價脂族烴基，并且＊表示與碳基的連接位置，

X¹表示-O-^＊1、-NR³-^＊1、-O-CO-^＊1、-O-CH₂-^＊1、-O-CH₂-CO-O-^＊1或-NR³-CH₂-^＊1，其中^＊1表示與W¹的連接位置，

X²表示-O-^＊2、-NR³-^＊2、-O-CO-^＊2、-O-CH₂-^＊2、-O-CH₂-CO-O-^＊2或-NR³-CH₂-^＊2，其中^＊2表示與W²的連接位置，

X³表示-O-^＊1、-NR₃-^＊1、-O-CH₂-CO-O-^＊1或-O-CH₂-CO-NR³-^＊1，其中^＊1表示與W¹的連接位置，

X⁴表示-O-^＊2、-NR³-^＊2、-O-CH₂-CO-O-^＊2或-O-CH₂-CO-NR³-^＊2，其中^＊2表示與W²的連接位置，

X⁵表示-O-^＊1、-NR³-^＊1、-O-CO-^＊1、-O-CH₂-^＊1或-NR₃-CH₂-^＊1，其中^＊1表示與W¹的連接位置，

X⁶表示-O-^＊2、-NR³-^＊2、-O-CO-^＊2、-O-CH₂-^＊2或-NR³-CH₂-^＊2，其中^＊2表示與W²的連接位置，

R^L表示氫原子或可以具有氟原子的C1-C14脂族烴基，

^＊0表示與連接至C(Q¹)(Q²)的碳原子的連接位置，并且m¹、m²、m³、m⁴和m⁵各自獨立地表示0至6的整數。