[發明專利]一種用于光刻曝光的快門裝置及其使用方法在審
| 申請號： | 201210296891.0 | 申請日： | 2012-08-21 |
| 公開（公告）號： | CN103631066A | 公開（公告）日： | 2014-03-12 |
| 發明（設計）人： | 孫智超;羅聞 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03B7/08 | 分類號： | G03B7/08;G03B9/10;G03B9/60;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京連和連知識產權代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光輝 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 光刻 曝光 快門 裝置 及其 使用方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于光刻曝光的快門裝置，其特征在于，包括固定葉片和可動葉片，所述固定葉片和所述可動葉片上分布有孔洞，所述固定葉片和所述可動葉片在光束照射區域內的孔洞分布相同，所述可動葉片可通過相對于所述固定葉片運動，使所述可動葉片孔洞與所述固定葉片孔洞由不相交至重合或部分重合，實現快門的開閉。
2.根據權利要求1所述的快門裝置，其特征在于，所述可動葉片相對于所述固定葉片運動為繞轉動軸轉動。
3.根據權利要求1所述的快門裝置，其特征在于，所述可動葉片相對于所述固定葉片運動為平移運動。
4.如權利要求1至3中任意一項所述的快門裝置的使用方法，其特征在于，包括：
將所述可動葉片孔洞與所述固定葉片孔洞完全交錯分開狀態設置為快門關閉狀態，此時可動葉片的位置為關閉位置；
確定曝光劑量范圍，將曝光劑量范圍分段；
確定各個曝光劑量段的可動葉片位置；
根據曝光設定劑量，控制可動葉片在所述關閉位置和所述曝光設定劑量所屬的曝光劑量段的可動葉片位置之間移動。
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G03 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術
G03B 攝影、放映或觀看用的裝置或設備；利用了光波以外其他波的類似技術的裝置或設備；以及有關的附件
G03B7-00 通過分別或聯合調節快門、光圈、濾光器控制曝光
G03B7-02 .根據照相機或攝影機外帶的或內裝的光表提供的指示或讀數，通過調整照相機或攝影機上的有刻度的構件進行控制
G03B7-04 .靠手調一個部件來實現控制，這個部件反映機內光強指示器的指示值，例如，靠恢復指示器指到一個固定的參考符號來實現控制
G03B7-08 .完全靠裝在機內的光敏器件對其接受的光強度的響應進行控制
G03B7-16 .根據閃光光源的強度和目標到閃光光源的距離，例如，根據閃光泡的“指數”和相機聚焦
G03B7-18 .根據鏡頭上的或所使用的濾光器或其他遮光器的“減光因數”
G03B 攝影、放映或觀看用的裝置或設備；利用了光波以外其他波的類似技術的裝置或設備；以及有關的附件
G03B7-00 通過分別或聯合調節快門、光圈、濾光器控制曝光
G03B7-02 .根據照相機或攝影機外帶的或內裝的光表提供的指示或讀數，通過調整照相機或攝影機上的有刻度的構件進行控制
G03B7-04 .靠手調一個部件來實現控制，這個部件反映機內光強指示器的指示值，例如，靠恢復指示器指到一個固定的參考符號來實現控制
G03B7-08 .完全靠裝在機內的光敏器件對其接受的光強度的響應進行控制
G03B7-16 .根據閃光光源的強度和目標到閃光光源的距離，例如，根據閃光泡的“指數”和相機聚焦
G03B7-18 .根據鏡頭上的或所使用的濾光器或其他遮光器的“減光因數”
