[發(fā)明專利]線路結(jié)構(gòu)及其制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210295065.4
• 申請日: 2012-08-17
• 公開（公告）號: CN103596353A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃尚峰;余丞博;鄭人齊
• 申請（專利權(quán)）人: 欣興電子股份有限公司
• 主分類號: H05K1/02
• 分類號: H05K1/02;H05K1/11;H05K3/46;H05K3/42
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種線路結(jié)構(gòu)，包括：

內(nèi)層線路層，具有上表面以及配置于該上表面上的第一導(dǎo)電層；

第一介電層，配置于該內(nèi)層線路層上且覆蓋該上表面與該第一導(dǎo)電層，該第一介電層具有第一表面及多個從該第一表面延伸至該第一導(dǎo)電層的第一線路溝槽，該些第一線路溝槽的延伸方向垂直該第一導(dǎo)電層的延伸方向；

第一導(dǎo)電材料層，配置于該些第一線路溝槽內(nèi)；

第二導(dǎo)電層，配置于該第一介電層的該第一表面上且包括一信號線路以及至少兩個參考線路，其中該信號線路位于該些參考線路之間且彼此不相連，該些參考線路通過該第一導(dǎo)電材料層與該第一導(dǎo)電層電連接，且各該參考線路的線寬大于各該第一線路溝槽的寬度；

第二介電層，配置于該第一介電層上且覆蓋該第一表面與該第二導(dǎo)電層，該第二介電層具有第二表面及多個從該第二表面延伸至該些參考線路的第二線路溝槽，該些第二線路溝槽的延伸方向垂直該第二導(dǎo)電層的延伸方向，且各該第二線路溝槽的寬度小于各該參考線路的線寬；

第二導(dǎo)電材料層，配置于該第二線路溝槽內(nèi)；以及

第三導(dǎo)電層，配置于該第二介電層的該第二表面上，其中該第三導(dǎo)電層通過該第二導(dǎo)電材料層與該些參考線路電連接，且該第三導(dǎo)電層的延伸方向與該第一導(dǎo)電層的延伸方向及該第二導(dǎo)電層的延伸方向相同。

2.如權(quán)利要求1所述的線路結(jié)構(gòu)，其中該第一導(dǎo)電層、該第一導(dǎo)電材料層、該些參考線路、該第二導(dǎo)電材料層以及該第三導(dǎo)電層定義出一環(huán)形擋墻，且該環(huán)形擋墻環(huán)繞該信號線路。

3.如權(quán)利要求2所述的線路結(jié)構(gòu)，其中該第三導(dǎo)電層與該第二導(dǎo)電層之間的垂直距離等于該第二導(dǎo)電層與該第一導(dǎo)電層之間的垂直距離以及該信號線路與各該參考線路之間的水平距離。

4.如權(quán)利要求1所述的線路結(jié)構(gòu)，其中該第一線路溝槽的寬度介于5微米至50微米之間，且該第二線路溝槽的寬度介于5微米至50微米之間。

5.如權(quán)利要求1所述的線路結(jié)構(gòu)，其中該第一介電層的厚度介于5微米至60微米之間，且該第二介電層的厚度介于5微米至60微米之間。

6.如權(quán)利要求1所述的線路結(jié)構(gòu)，其中該第一導(dǎo)電材料層的材質(zhì)與該第二導(dǎo)電層的材質(zhì)相同，且該第二導(dǎo)電材料層的材質(zhì)與該第三導(dǎo)電層的材質(zhì)相同。

7.一種線路結(jié)構(gòu)的制作方法，包括：

提供一內(nèi)層線路層，該內(nèi)層線路層具有上表面以及配置于該上表面上的第一導(dǎo)電層；

形成一第一介電層于該內(nèi)層線路層上，該第一介電層層覆蓋該內(nèi)層線路層的該上表面與該第一導(dǎo)電層且具有第一表面；

對該第一介電層進(jìn)行一第一次激光燒蝕步驟，以形成多個從該第一介電層的該第一表面延伸至該第一導(dǎo)電層的第一線路溝槽，其中該些第一線路溝槽的延伸方向垂直該第一導(dǎo)電層的延伸方向；

填充一第一導(dǎo)電材料層于該些第一線路溝槽內(nèi)，其中該第一導(dǎo)電材料層填滿該些第一線路溝槽；

形成一第二導(dǎo)電層于該第一介電層的該第一表面上，該第二導(dǎo)電層包括一信號線路以及至少二參考線路，其中該信號線路位于該些參考線路之間且彼此不相連，該些參考線路通過該第一導(dǎo)電材料層與該第一導(dǎo)電層電連接，且各該參考線路的線寬大于各該第一線路溝槽的寬度；

形成一第二介電層于該第一介電層上，該第二介電層覆蓋該第一介電層的該第一表面與該第二導(dǎo)電層且具有第二表面；

對該第二介電層進(jìn)行一第二次激光燒蝕步驟，以形成多個從該第二介電層的該第二表面延伸至該些參考線路的第二線路溝槽，其中該些第二線路溝槽的延伸方向垂直該第二導(dǎo)電層的延伸方向，且各該第二線路溝槽的寬度小于各該參考線路的線寬；

填充一第二導(dǎo)電材料層于該些第二線路溝槽內(nèi)，其中該第二導(dǎo)電材料層填滿該些第二線路溝槽；以及

形成一第三導(dǎo)電層于該第二介電層的該第二表面上，該第三導(dǎo)電層通過該第二導(dǎo)電材料層與該些參考線路電連接，且該第三導(dǎo)電層的延伸方向與該第一導(dǎo)電層的延伸方向及該第二導(dǎo)電層的延伸方向相同。

8.如權(quán)利要求7所述的線路結(jié)構(gòu)的制作方法，其中該第一導(dǎo)電層、該第一導(dǎo)電材料層、該些參考線路、該第二導(dǎo)電材料層以及該第三導(dǎo)電層定義出一環(huán)形擋墻，且該環(huán)形擋墻環(huán)繞該信號線路。

9.如權(quán)利要求8所述的線路結(jié)構(gòu)的制作方法，其中該第三導(dǎo)電層與該第二導(dǎo)電層之間的垂直距離等于該第二導(dǎo)電層與該第一導(dǎo)電層之間的垂直距離以及該信號線路與各該參考線路之間的水平距離。