[發明專利]物理量傳感器及電子設備有效
| 申請號： | 201210293323.5 | 申請日： | 2012-08-16 |
| 公開（公告）號： | CN102955045B | 公開（公告）日： | 2019-01-22 |
| 發明（設計）人： | 與田光宏 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125;G01D5/241 |
| 代理公司： | 北京金信知識產權代理有限公司 11225 | 代理人： | 黃威;蘇萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 物理量 傳感器 電子設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種物理量傳感器，其特征在于，具備：
底基板，其上設置有第一凹部；
傳感器部，其被配置在所述第一凹部上，且通過在第一軸方向上延伸的支承部，而以能夠在所述第一凹部的深度方向上擺動的方式被支承，
所述傳感器部以所述支承部為界而被劃分為第一部分和第二部分，在所述第一部分以及所述第二部分上具備可動電極部，并且，與所述第一部分相比所述第二部分的質量較大，在所述第一部分以及所述第二部分這兩方上設置有貫穿孔，
所述底基板于在俯視觀察時與所述可動電極部重疊的位置處具備固定電極部，
并且，于在俯視觀察時與所述傳感器部的頂端重疊的位置處，設置有與所述第一凹部相比較深的第二凹部，
所述第一凹部被設置為，隨著從所述傳感器部的所述支承部趨于所述頂端，與所述傳感器部之間的間隙增大，
在所述第一凹部內設置有所述固定電極部。
2.如權利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，
在所述第二凹部內設置有導電部，
所述導電部與所述可動電極部相連接。
3.如權利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，
沿著所述第一軸方向而設置有多個所述貫穿孔。
4.如權利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，
所述底基板使用絕緣材料，
所述傳感器部使用半導體材料。
5.一種電子設備，其特征在于，
具備權利要求1所述的物理量傳感器。
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