[發(fā)明專利]一種具有柔性透明導(dǎo)電薄膜的電容觸摸屏及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210290084.8
• 申請(qǐng)日: 2012-08-15
• 公開（公告）號(hào): CN102830876A
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王魯南;王建華;竇立峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京匯金錦元光電材料有限公司
• 主分類號(hào): G06F3/044
• 分類號(hào): G06F3/044
• 代理公司: 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種具有柔性導(dǎo)電薄膜的電容型觸摸屏，其特征在于，包括柔性透明薄膜基材（1）；在柔性透明薄膜基材（1）上表面上依次層疊有第一Nb₂O₅薄膜層（2）、第一Nb₂Ox（0<x<5）薄膜層（3）、第一SiO₂薄膜層（4）、第一SiOx（0<x<2）薄膜層（5）、第一ITO薄膜層（6）；在柔性透明薄膜基材（1）下表面上有第二ITO薄膜層（7）。

2.如權(quán)利要求1所述的電容型觸摸屏，其特征在于，它還包括位于柔性透明薄膜基材（1）上表面與Nb₂O₅薄膜層（2）之間的第一樹脂薄膜層（8），位于柔性透明薄膜基材（1）下表面與第二ITO薄膜層（7）之間的第二樹脂薄膜層（9）。

3.如權(quán)利要求1所述的電容型觸摸屏，其特征在于，它還包括柔性透明薄膜基材（1）下表面與第二ITO薄膜層（7）之間的依次層疊的第二Nb₂O₅薄膜層（12）、第二Nb₂Ox（0<x<5）薄膜層（13）、第二SiO₂薄膜層（14）、第二SiOx（0<x<2）薄膜層（15）。

4.如權(quán)利要求1、2或3所述的電容型觸摸屏，其特征在于，柔性透明薄膜基材（1）為PET薄膜基材。

5.如權(quán)利要求1、2或3所述的電容型觸摸屏，其特征在于，柔性透明薄膜基材（1）厚度為5?-250?。

6.如權(quán)利要求1、2或3所述的電容型觸摸屏，其特征在于，第一SiO₂薄膜層（4）厚度為0.5nm-150nm。

7.如權(quán)利要求1、2或3所述的電容型觸摸屏，其特征在于，第一SiOx（0<x<2）薄膜層（5）厚度為0.5nm-150nm。

8.如權(quán)利要求1、2或3所述的電容型觸摸屏，其特征在于，第一Nb₂O₅薄膜層（2）厚度為0.5nm-150nm。

9.如權(quán)利要求1、2或3所述的電容型觸摸屏，其特征在于，第一Nb₂Ox（0<x<5）薄膜層（3）厚度為0.5nm-150nm。

10.權(quán)利要求1所述的電容型觸摸屏的制備方法，其特征在于，通過反應(yīng)磁控濺射方法，在柔性透明薄膜基材（1）上沉積得到第一Nb₂O₅薄膜層（2）、第一Nb₂Ox（0<x<5）薄膜層（3）、第一SiO₂薄膜層（4）、第一SiOx（0<x<2）薄膜層（5）、第一ITO薄膜層（6）、第二ITO薄膜層（7）。