[發明專利]電編程金屬熔絲器件結構在審
| 申請號: | 201210289607.7 | 申請日: | 2012-08-15 |
| 公開(公告)號: | CN103633064A | 公開(公告)日: | 2014-03-12 |
| 發明(設計)人: | 仲志華;祝奕琳 | 申請(專利權)人: | 上海華虹宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/525 | 分類號: | H01L23/525 |
| 代理公司: | 上海浦一知識產權代理有限公司 31211 | 代理人: | 丁紀鐵 |
| 地址: | 201203 上海市浦東*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 編程 金屬 器件 結構 | ||
【權利要求書】:
1.一種電編程金屬熔絲器件結構,包括:具有接觸孔的金屬層,連接在兩金屬層之間的金屬熔絲,其特征是:所述金屬熔絲具有至少一個蛇形折角。
2.如權利要求1所述的電編程金屬熔絲器件結構,其特征是:所述蛇形折角小于等于90度。
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