[發明專利]一種高效低成本的藍寶石晶圓棒掏棒方法無效
| 申請號： | 201210289115.8 | 申請日： | 2012-08-15 |
| 公開（公告）號： | CN102806609A | 公開（公告）日： | 2012-12-05 |
| 發明（設計）人： | 肖兵;張會選;胡海平;林維;程興發 | 申請（專利權）人： | 四川欣藍光電科技有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/00 | 分類號： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 成都頂峰專利事務所(普通合伙) 51224 | 代理人： | 成實 |
| 地址： | 620599 四川*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 高效 低成本 藍寶石 晶圓棒掏棒 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種高效低成本的藍寶石晶圓棒掏棒方法，其特征在于，主要由以下步驟組成：
（1）將藍寶石晶體固定于機床上，打開冷卻水管持續引入冷卻液；
（2）將刀具移動到待加工的部位，通過1個以上的加工循環形成藍寶石晶圓棒，每個加工循環中刀具完成掏棒、提拉、排屑、下移四個步驟，其中
掏棒：將刀具轉速調節為300～500r∕min，開始掏棒；
提拉：掏棒的深度達到2～5mm時，快速提拉刀具，將冷卻液壓入藍寶石晶體的磨削部位；
排屑：調整刀具轉速，使其轉速控制在500～1000r∕min，3～6s后，將刀具轉速調節為300～500r∕min；
下移：將刀具下移至待加工的部位。
2.根據權利要求1所述的一種高效低成本的藍寶石晶圓棒掏棒方法，其特征在于：所述步驟（2）中加工循環的次數為20～30次。
3.根據權利要求2所述的一種高效低成本的藍寶石晶圓棒掏棒方法，其特征在于：所述冷卻液濃度為1.5%～4.1%。
4.根據權利要求3所述的一種高效低成本的藍寶石晶圓棒掏棒方法，其特征在于：所述步驟（2）中刀具的提拉高度與刀具的下移高度相同。
5.根據權利要求1～4任一項所述的一種高效低成本的藍寶石晶圓棒掏棒方法，其特征在于：所述機床為數控鉆銑床。
6.根據權利要求5所述的一種高效低成本的藍寶石晶圓棒掏棒方法，其特征在于：所述刀具直徑為2～6英寸。
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