[發明專利]半導體器件及其制造方法有效
| 申請號： | 201210287514.0 | 申請日： | 2012-08-13 |
| 公開（公告）號： | CN103594511B | 公開（公告）日： | 2017-02-08 |
| 發明（設計）人： | 尹海洲;張亞樓;朱慧瓏 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L29/08;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京藍智輝煌知識產權代理事務所(普通合伙)11345 | 代理人： | 陳紅 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體器件 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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