[發(fā)明專利]基于光子頻率上轉(zhuǎn)換的太赫茲成像器件、轉(zhuǎn)換方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210287273.X | 申請日: | 2012-08-13 |
| 公開(公告)號: | CN102832289A | 公開(公告)日: | 2012-12-19 |
| 發(fā)明(設計)人: | 劉惠春;楊耀;張月蘅 | 申請(專利權(quán))人: | 上海交通大學 |
| 主分類號: | H01L31/16 | 分類號: | H01L31/16 |
| 代理公司: | 上海漢聲知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31236 | 代理人: | 胡晶 |
| 地址: | 200240 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 基于 光子 頻率 轉(zhuǎn)換 赫茲 成像 器件 方法 | ||
1.一種基于光子頻率上轉(zhuǎn)換的太赫茲成像器件,其特征在于,包括太赫茲上轉(zhuǎn)換器件和硅基成像器件,其中,
?太赫茲上轉(zhuǎn)換器件:用于將太赫茲二維圖像信號轉(zhuǎn)換為近紅外或者可見光二維圖像信號;
????硅基成像器件:用于將轉(zhuǎn)換得到的近紅外或者可見光二維圖像信號進行接收探測。
2.如權(quán)利要求1所述的太赫茲成像器件,其特征在于,太赫茲上轉(zhuǎn)換器件包括太赫茲探測器和發(fā)光二極管,其中:太赫茲探測器用以實現(xiàn)對太赫茲光子的接收和探測,將太赫茲光信號轉(zhuǎn)化為電信號,并將由所述太赫茲探測器所產(chǎn)生的光電子會遷移到發(fā)光二極管的工作區(qū)與空穴復合,產(chǎn)生波長為1微米以下的近紅外光子或者可見光光子。
3.如權(quán)利要求2所述的太赫茲成像器件,其特征在于,太赫茲探測器為半導體量子阱太赫茲探測器。
4.如權(quán)利要求1所述的太赫茲成像器件,其特征在于,將太赫茲上轉(zhuǎn)換器件的發(fā)光面和硅基光電探測或成像器件的光接受面進行打磨設置,再通過晶片鍵合技術(shù)將這兩個平面結(jié)合在一起。
5.如權(quán)利要求1所述的太赫茲成像器件,其特征在于,紅外探測器LED的發(fā)光面和硅基光電探測或成像器件的光接受面進行打磨,將它們緊壓在一起,中間只留有微米尺寸的間隙,在間隙見利用光膠進行粘合設置。
6.如權(quán)利要求1所述的太赫茲成像器件,其特征在于,
硅基成像器件用來探測紅外上轉(zhuǎn)換器件所發(fā)出的近紅外光子,其為以下一種:
若是用來實現(xiàn)紅外探測,所用的硅基光電探測或成像器件為硅光電探測器;
若是用來實現(xiàn)紅外成像,所用硅基光電探測或成像器件為硅CCD或者硅CMOS器件。
7.一種基于光子頻率上轉(zhuǎn)換的太赫茲成像方法,其特征在于,包括:
將太赫茲光子轉(zhuǎn)換為近紅外光子或者可見光子,
利用硅基近紅外成像器件進行探測成像。
8.如權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,進一步包括:
太赫茲探測器對太赫茲光子的接收和探測,將太赫茲光信號轉(zhuǎn)化為電信號,并將由所述太赫茲探測器所產(chǎn)生的光電子會遷移到發(fā)光二極管的工作區(qū)與空穴復合,產(chǎn)生波長為1微米以下的近紅外光子或者可見光光子;
硅基成像器件探測紅外上轉(zhuǎn)換器件所發(fā)出的近紅外光子或可見光光子。
9.如權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,還包括:
紅外探測器LED的發(fā)光面和硅基光電探測或成像器件的光接受面進行打磨,將它們緊壓在一起,中間只留有微米尺寸的間隙,在間隙見利用光膠進行粘合設置。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
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