[發(fā)明專利]灰階掩膜版及利用其形成的柱狀隔墊物

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210285671.8
• 申請日: 2012-08-10
• 公開（公告）號: CN102819181A
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳洪江;黎敏;查長軍
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: G03F1/32
• 分類號: G03F1/32;G02F1/1339
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 李娟

1.一種灰階掩膜版，包括透明襯底和形成于其上的遮光層，其特征在于，所述遮光層包括部分曝光區(qū)，所述部分曝光區(qū)包括多個(gè)透光孔，所述多個(gè)透光孔均勻分布。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的灰階掩膜版，其特征在于，所述多個(gè)透光孔分多行分布，每一行的同一行內(nèi)的相鄰?fù)腹饪字g的間隔相等。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的灰階掩膜版，其特征在于，所述多個(gè)透光孔，包括m行和n列，同一行內(nèi)的相鄰?fù)腹饪字g的間隔a相同，同一列內(nèi)的相鄰?fù)腹饪字g的間隔b相同且a=b，其中m和n是大于等于2的自然數(shù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的灰階掩膜版，其特征在于，所述多個(gè)透光孔分多行分布，所述多行透光孔的相鄰行之間緊密相鄰且相鄰行的透光孔交錯(cuò)設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的灰階掩膜版，其特征在于，所述所有透光孔圍成的圖案是圓形或橢圓形或菱形或矩形或正E邊形，其中E是大于等于3的自然數(shù)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的灰階掩膜版，其特征在于，每個(gè)所述透光孔是圓形或橢圓形或菱形或矩形或正F邊形，其中F是大于等于3的自然數(shù)。

7.一種灰階掩膜版，包括透明襯底和形成于其上的遮光層，其特征在于，所述遮光層包括部分曝光區(qū)，所述部分曝光區(qū)包括曝光開口和位于曝光開口內(nèi)的多個(gè)遮光區(qū)，所述多個(gè)遮光區(qū)均勻分布。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的灰階掩膜版，其特征在于，所述多個(gè)遮光區(qū)分多行分布，每一行的同一行內(nèi)的相鄰遮光區(qū)之間的間隔相等。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的灰階掩膜版，其特征在于，所述多個(gè)遮光區(qū)，包括s行和t列，同一行內(nèi)的相鄰遮光區(qū)之間的間隔c相同，同一列內(nèi)的相鄰遮光區(qū)之間的間隔d相同且c=d，其中s和t是大于等于2的自然數(shù)。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的灰階掩膜版，其特征在于，所述多個(gè)遮光區(qū)分多行分布，所述多行遮光區(qū)的相鄰行之間緊密相鄰且相鄰行的遮光區(qū)交錯(cuò)設(shè)置。

11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的灰階掩膜版，其特征在于，所述曝光開口是圓形或橢圓形或菱形或矩形或正G邊形，其中G是大于等于3的自然數(shù)。

12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的灰階掩膜版，其特征在于，每個(gè)所述遮光區(qū)是圓形或橢圓形或菱形或矩形或正H邊形，其中H是大于等于3的自然數(shù)。

13.一種柱狀隔墊物，其特征在于，所述柱狀隔墊物通過權(quán)利要求1至6中任一種灰階掩膜版形成，所述灰階掩膜版的部分曝光區(qū)下形成的柱狀隔墊物的上表面是凹凸不平的。

14.一種柱狀隔墊物，其特征在于，所述柱狀隔墊物通過權(quán)利要求7至12中任一種灰階掩膜版形成，所述灰階掩膜版的部分曝光區(qū)下形成的柱狀隔墊物的上表面是凹凸不平的。