[發明專利]一種四氯化硅氫化反應設備及其固體原料連續供料裝置

在審

• 申請號: 201210285416.3
• 申請日: 2012-08-10
• 公開（公告）號: CN102815708A
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 張升學;嚴大洲;肖榮暉;毋克力;湯傳斌;楊永亮;萬燁
• 申請（專利權）人: 中國恩菲工程技術有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 宋合成;黃德海

技術領域

本發明涉及多晶硅制備技術領域，更具體地，本發明涉及一種四氯化硅氫化反應設備及其固體原料連續供料裝置。

背景技術

多晶硅生產過程中產生的大量的副產物四氯化硅，直接排放會嚴重污染環境。如何安全處理四氯化硅已成為制約多晶硅行業發展的“瓶頸”。目前，四氯化硅冷氫化技術解決了多晶硅副產物的問題。

四氯化硅冷氫化技術是在一定的溫度、壓力下，四氯化硅、氫氣以及硅粉和粉末狀觸媒加入反應器中，將四氯化硅轉化為多晶硅生產的原料三氯氫硅，實現了物料的循環利用。由于冷氫化技術運行壓力較高，一般在2.0-3.5MPa下運行，而固體物料硅粉及觸媒需要從低壓裝置中加入到高壓運行的反應器中，壓差較大，而且在高溫高壓、易燃易爆的工況下，使得該固體物料加入反應器非常困難。

發明內容

本發明旨在至少在一定程度上解決上述技術問題之一或至少提供一種有用的商業選擇。

為此，本發明的一個目的在于提出一種結構簡單、供料方便、安全性高的四氯化硅氫化反應的固體原料連續供料裝置。

根據本發明實施例的四氯化硅氫化反應的固體原料連續供料裝置，包括相連通的儲料罐和計量罐，所述儲料罐內儲有四氯化硅氫化反應的固體原料，其中所述計量罐具有向四氯化硅氫化反應器提供所述固體原料的物料出口，且所述計量罐設有氣壓調節裝置以調節所述計量罐中的氣壓。

根據本發明實施例的四氯化硅氫化反應的固體原料連續供料裝置，通過在計量罐上設置氣壓調節裝置，有效解決了從氣壓較低的儲料罐向氣壓較高的四氯化硅氫化反應器中送料困難的問題，該供料裝置結構簡單，使用方便且安全性高。

另外，根據本發明上述實施例的四氯化硅氫化反應的固體原料連續供料裝置，還可以具有如下附加的技術特征：

根據本發明的一個實施例，所述氣壓調節裝置包括：加壓管道，所述加壓管道可連通和可閉合地與氣源相連以便通過向所述計量罐中通入高壓氣體來增加所述計量罐中的氣壓；和泄壓管道，所述泄壓管道可連通和可閉合地與尾氣源相連以便通過向所述尾氣源排出所述計量罐中的氣體來降低所述計量罐中的氣壓。

根據本發明的一個實施例，所述加壓管道為氫氣加壓管道。

根據本發明的一個實施例，所述計量罐上還設有氮氣管道。

根據本發明的一個實施例，所述儲料罐通過第一連通管道與所述計量罐相連，且所述第一連通管道上設有第一閥門以控制所述第一連通管道的開閉。

根據本發明的一個實施例，所述計量罐的物料出口連接有第二連通管道，所述第二連通管道與所述四氯化硅氫化反應器相連接，所述第二連通管道上設有第二閥門以控制所述第二連通管道的開閉。

根據本發明的一個實施例，所述第一閥門和所述第二閥門均為氣動盤閥。

根據本發明的一個實施例，所述氣動盤閥均包括兩臺。

根據本發明的一個實施例，所述儲料罐位于所述反應器上方。

根據本發明的一個實施例，所述計量罐上設有計量裝置以計量所述計量罐內物料含量。

本發明的另一個目的在于提出一種四氯化硅氫化反應設備。

根據本發明實施例的四氯化硅氫化反應設備，包括：四氯化硅氫化反應器，所述四氯化硅氫化反應器具有固體原料進口和產品出口；和固體原料連續供料裝置，所述固體原料連續供料裝置為根據上述實施例所述的四氯化硅氫化反應器的固體原料連續供料裝置，其中，所述計量罐的物料出口與所述四氯化硅氫化反應器的固體原料進口相連。

根據本發明的一個實施例，所述計量罐位于所述四氯化硅氫化反應器的上方。

本發明的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發明的實踐了解到。

附圖說明

本發明的上述和/或附加的方面和優點從結合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是根據本發明實施例的四氯化硅氫化反應的固體原料連續供料裝置結構示意圖；

圖2是根據本發明實施例的四氯化硅氫化反應設備結構示意圖。

具體實施方式

下面詳細描述本發明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，旨在用于解釋本發明，而不能理解為對本發明的限制。