[發明專利]用于單晶爐的真空系統過濾器

無效

• 申請號: 201210285243.5
• 申請日: 2012-08-10
• 公開（公告）號: CN102824798A
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發明（設計）人: 朱亮;曹建偉;郭建宇;王巍;孫明
• 申請（專利權）人: 上虞晶信機電科技有限公司;浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: B01D46/24
• 分類號: B01D46/24
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

技術領域

本發明涉及過濾裝置，特別涉及一種單晶爐生產過程中使用的單晶爐真空系統過濾器。

背景技術

直拉單晶的生產，需要在高溫真空狀態下進行，單晶爐內會產生許多高溫揮發物，這些高溫揮發物如果直接進入到真空泵內，會污染真空泵油，影響真空泵的安全運行，因此，設置單晶爐真空系統過濾器，用以凈化氣體真空。現有的單晶爐真空系統過濾器是由過濾網架、焊接在過濾網架兩端的支撐圈、環繞在過濾網架上并與支撐圈連接的圓形過濾網構成。這種結構的過濾效果不好，需較為頻繁的清理過濾器，否則容易堵塞，降低抽氣功能；加之清理較為麻煩。一般每拉單晶5~6爐就需要更換真空泵油，影響真空泵的吸力和抽吸效果，甚至影響單晶成品率及產品質量。

發明內容

本發明的目的是要解決現有技術存在的上述問題，提供一種拆卸方便，且過濾效果好，可防止單晶爐中的灰塵、高溫揮發物等進入真空泵中的真空系統過濾器。

本發明采取的技術方案是：

提供一種用于單晶爐的真空系統過濾器，包括罐體和設于罐體上的進氣口及出氣口；在罐底焊接有一個支撐環，支撐環上設濾芯支撐圓盤；濾芯支撐圓盤上開設若干排氣孔，每個排氣孔對應安裝一個濾芯；濾芯支撐圓盤、支撐環和罐底構成過濾器的潔凈區，所述出氣口設于罐體底部且其開口位置處于支撐環之內。

作為一種改進，所述進氣口設于罐體側面的中上部。

作為一種改進，所述濾芯支撐圓盤上的排氣孔內焊接有用于固定濾芯的T型螺桿。

作為一種改進，所述濾芯支撐圓盤上焊接有一對把手。

作為一種改進，所述濾芯分為上下兩段。

作為一種改進，所述出氣口設有一個90°的彎頭，方向與進氣口相對。

作為一種改進，所述罐體上端呈開口狀，配有頂蓋；頂蓋和法蘭邊緣罐體之間設置密封圈，并通過雙頭卡夾緊；罐體側面固定焊接有一個搖臂機構，搖臂機構通過螺桿與頂蓋相連。

本發明的有益效果在于：

首先，由于采用濾芯組件，由傳統的單個濾芯變為多個特制濾芯，增加了過濾面積，加強了過濾效果，且不易堵塞，減少了清理次數。解決了現有的過濾器過濾效果不好，需較為頻繁的清理，且容易堵塞，清理麻煩，影響產品質量的問題。

其次，多個濾芯及排氣孔，確保了不影響真空泵的吸力，保證了單晶爐內真空抽吸效果，在一定程度上保證了單晶成品率。

最后，搖臂機構使得頂蓋拆裝方便，從而方便了對特制空氣濾芯組件的清理。

附圖說明

圖1是本發明的示意圖（只展示了一個濾芯）。

圖2是本發明的A向視圖。

圖3是本發明的B-B剖視圖。

圖中附圖標記：進氣口1、罐體2、濾芯3、濾芯支撐圓盤4、罐體支撐組件5、頂蓋6、搖臂機構7、出氣口8、支撐環9。

具體實施方式

如圖所示，該單晶爐真空系統過濾器包括進氣口1、罐體2、濾芯3、濾芯支撐圓盤4、罐體支撐組件5、頂蓋6、搖臂機構7、出氣口8、支撐環9；罐體2頂部設有頂蓋6及搖臂機構7，搖臂機構7通過一個螺桿與頂蓋6連接，可繞其支撐桿旋轉360°，用于清理過濾器。在罐體2一側的中上部設有進氣口1，在罐體2的底部設有一個90°彎頭連接的出氣口8，方向與進氣口1相對。

罐體2內部設有濾芯3、濾芯支撐圓盤4及支撐環9，其中濾芯3有多個，每個濾芯3均由上下兩段組成；濾芯支撐圓盤4是一個開設多個排氣孔的圓盤，每個排氣孔內焊接一個T形螺桿，濾芯支撐圓盤4另焊接一對把手。濾芯支撐圓盤4放置于支撐環4上，濾芯3穿過T形螺桿固定在濾芯支撐圓盤4上。支撐環4焊接在罐體內，支撐濾芯支撐圓盤4；在罐體2底部焊有罐體支撐組件5。

使用方法：

擰開罐體2與頂蓋6之間的夾緊裝置雙頭卡，利用搖臂機構7將頂蓋6移開，將濾芯3安裝于濾芯支撐圓盤4上，然后提兩個把手，將濾芯3與濾芯支撐圓盤4放置在支撐環9上。這樣，濾芯支撐圓盤4、支撐環9和罐底就形成了潔凈區，再將頂蓋6蓋在罐體2上，用雙頭卡夾緊。對爐體進行真空過濾器時，進氣口1與爐體主真空管道相連，出氣口8與真空泵相連。氣體從進氣口1進入，經過濾芯3將有爐體內的高溫揮發物擋于濾芯3處，潔凈的氣體通過支撐圓盤4上的排氣孔，到達潔凈區，最后從罐體底部的出氣口8被真空泵排出。