[發明專利]藍寶石單晶制造用冷卻裝置

無效

• 申請號: 201210283836.8
• 申請日: 2012-08-10
• 公開（公告）號: CN103147126A
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發明（設計）人: 樸鐘仁;金賢哲;李鐘贊
• 申請（專利權）人: BIEMT株式會社;BIAM株式會社
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B35/00
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 竺路玲

1.一種藍寶石單晶制造用冷卻裝置，其特征在于：

包括形成有位于內部底面固定有籽晶結晶的坩堝下部、向固定有籽晶結晶的部位供應冷媒的供應管，把冷卻坩堝下部的冷媒排出的冷媒排出管的冷媒循環部；由連接冷媒供應管的入口和冷媒排出管出口的內部管，環抱所述?內部管、內部有冷媒循環的外部管形成雙重管結構的第1冷卻部；內部形成有裝放所述第1冷卻部的冷卻槽，填充有冷卻水的第2冷卻部。

2.根據權利要求1所述的藍寶石單晶制造用冷卻裝置，其特征在于：

冷媒供應管和冷媒排出管的連接部具有雙重管結構，位于外側的冷媒排出管的端部閉口，位于該冷媒排出管內部的冷媒供應管端部開放、并與冷媒排出管端部相隔一定間距，而在冷媒排出管閉口的端部內側邊緣、形成有曲面部。

3.根據權利要求1或2所述的藍寶石單晶制造用冷卻裝置，其特征在于：

還包括設置在第1冷卻部的內部管兩端部，檢測供應側冷媒和排出側冷媒溫度的溫度傳感器。

4.根據權利要求3所述的藍寶石單晶制造用冷卻裝置，其特征在于：

還包括根據所述溫度傳感器所測的溫度，對供向第1冷卻部外部管的冷卻水供應量進行調節的控制部。

5.根據權利要求4所述的藍寶石單晶制造用冷卻裝置，其特征在于：

還包括位于所述第1冷卻部的冷卻水入口側，根據控制部的控制信號，對冷卻水的供應量進行調節的供應泵。