[發明專利]光學測量系統

有效

• 申請號: 201210281821.8
• 申請日: 2012-08-09
• 公開（公告）號: CN103575662A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 李國光;趙江艷
• 申請（專利權）人: 北京智朗芯光科技有限公司
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21;G01B11/06;G01B11/24;G01B11/00;G02B27/10
• 代理公司: 北京華沛德權律師事務所 11302
• 代理人: 劉麗君

1.一種光學測量系統，其特征在于，包括：

光源、光纖束、第一聚光單元、第二聚光單元、第三聚光單元、第四聚光單元、第五聚光單元、第六聚光單元、第一偏振器、第二偏振器、第三偏振器及光譜計；

所述光源發出的光經過所述光纖束分為兩束，其中一束光依次通過所述第五聚光單元、第二偏振器、第二聚光單元后斜入射到樣品表面；另一束光依次通過所述第四聚光單元、第一偏振器、第一聚光單元后垂直入射到樣品表面；

經過樣品表面反射且依次經過第三聚光單元、第三偏振器及第六聚光單元的斜入射光，與從樣品表面反射后返回且依次經過第一聚光單元、第一偏振器及第四聚光單元的垂直入射光，經所述光纖束傳輸后由同一端口輸出至所述光譜計。

2.根據權利要求1所述的光學測量系統，其特征在于：

所述第一聚光單元、第二聚光單元及第三聚光單元分別由鍍膜材料及鍍膜條件相同的平面反射鏡和球面反射鏡組合而成，并且，所述平面反射鏡和球面反射鏡上滿足光束的入射角相等，入射面垂直的條件；且所述第四聚光單元、第五聚光單元及第六聚光單元為球面反射鏡；或

所述第一聚光單元、第二聚光單元、第三聚光單元及第四聚光單元分別由鍍膜材料及鍍膜條件相同的平面反射鏡和球面反射鏡組合而成，并且，所述平面反射鏡和球面反射鏡上滿足光束的入射角相等，入射面垂直的條件；且第五聚光單元及第六聚光單元為球面反射鏡。

3.根據權利要求2所述的光學測量系統，其特征在于：

所述光纖束包括第一Y型光纖束和第二Y型光纖束。

4.根據權利要求2所述的光學測量系統，其特征在于，所述光纖束為一個W型光纖束。

5.根據權利要求4所述的光學測量系統，其特征在于，所述W型光纖束包括：

第I子光纖，第II子光纖，第III子光纖和第IV子光纖；

所述第I子光纖與所述第II子光纖共用輸入端口；

所述第III子光纖和所述第IV子光纖共用輸出端口；

所述第II子光纖的輸出端口和所述第III子光纖的輸入端口捆綁連接，形成輸入輸出端口；

所述第I子光纖和第IV子光纖的另一端分別連接一光纖端口。

6.根據權利要求5所述的光學測量系統，其特征在于：

所述第I子光纖，第II子光纖和第IV子光纖包含一根光纖，所述第III子光纖由六根光纖構成；

在所述W型光纖束的輸入輸出端口處，所述第II子光纖位于中心部位，構成所述第III子光纖的所述六根光纖對稱地排列所述第II子光纖的周圍，構成一個正六邊形；

在所述W型光纖束的輸出端口處，所述第III子光纖和所述第IV子光纖呈一字型并列擺放；所述第IV子光纖處于正中間，構成所述第III子光纖的所述六根光纖分成兩部分，在所述第IV子光纖兩側對稱地分布。

7.根據權利要求3所述的光學測量系統，其特征在于，還包括：

一分光元件，用于使從第一Y型光纖束射出的一束光在入射至第四聚光單元之前部分地通過，以及使經樣品反射后返回至第四聚光單元的光束部分地通過，并進入所述第二Y型光纖束。

8.根據權利要求7所述的光學測量系統，其特征在于，還包括：

第一光闌和第二光闌；

所述第一光闌設置在所述第一Y型光纖束和所述分光元件之間的光路中；

所述第二光闌設置在所述第五聚光單元和所述第一Y型光纖束之間的光路中。

9.根據權利要求3-6任一項所述的光學測量系統，其特征在于，還包括：

第一光闌和第二光闌；

所述第一光闌設置在所述第一Y型光纖束和所述第四聚光單元中平面反射鏡之間的光路中；

所述第二光闌設置在所述第五聚光單元和所述第一Y型光纖束之間的光路中。

10.根據權利要求1-6任一項所述的光學測量系統，其特征在于，所述光學測量系統還包括：

至少一個相位補償器，所述相位補償器位于所述第二偏振器與所述第二聚光單元之間，或所述第三聚光單元與所述第三偏振器之間。