[發明專利]一種納米碗狀藍寶石圖形襯底的制作方法

無效

• 申請號: 201210281741.2
• 申請日: 2012-08-09
• 公開（公告）號: CN102790150A
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發明（設計）人: 李璟;李鴻漸;張溢
• 申請（專利權）人: 揚州中科半導體照明有限公司
• 主分類號: H01L33/20
• 分類號: H01L33/20
• 代理公司: 揚州市錦江專利事務所 32106
• 代理人: 江平

1.一種納米碗狀藍寶石圖形襯底的制作方法，其特征在于包括以下生產步驟：

1）在蒸發臺上，在藍寶石襯底表面蒸鍍厚度為100～800納米的氯化銫薄膜；?

2）向蒸發臺腔室中充入水汽，使藍寶石襯底表面的氯化銫薄膜吸收水分長大形成氯化銫納米島，使各納米島與相鄰的納米島之間的間隙的占空比為1：1；

3）在氯化銫納米島的外表面采用PECVD法沉積厚度為0.5～1um的二氧化硅薄膜；

4）以去離子水超聲5～15分鐘，去除藍寶石表面的氯化銫納米島，形成二氧化硅納米碗層，該二氧化硅納米碗層為由相連的多個背面分別朝向藍寶石襯底的碗形二氧化硅納米材料組成；

5）以二氧化硅納米碗層作為刻蝕掩膜，對藍寶石表面進行ICP刻蝕，使二氧化硅納米碗層3的各碗形二氧化硅納米層連接到藍寶石襯底上；

6）在BOE溶液中超聲或浸泡，將藍寶石襯底表面的二氧化硅納米碗層去除干凈，露出納米碗狀的藍寶石圖形化表面。

2.根據權利要求1所述納米碗狀藍寶石圖形襯底的制作方法，其特征在于：所述步驟1）的蒸鍍時間為5～40min。

3.根據權利要求1所述納米碗狀藍寶石圖形襯底的制作方法，其特征在于：所述步驟2）各納米島的直徑分別為100～900nm，相鄰的納米島之間的間隙為100～900nm。

4.根據權利要求1所述納米碗狀藍寶石圖形襯底的制作方法，其特征在于：所述步驟5）中，刻蝕時同時使用Cl₂、BCl₃和Ar₂作為刻蝕氣體，其中Cl₂流量為30～100sccm，BCl₃流量為5～20sccm，Ar₂流量為5～25sccm；刻蝕功率為500～1000W；射頻功率為100～300W；刻蝕時間為5～15?min。

5.根據權利要求1所述納米碗狀藍寶石圖形襯底的制作方法，其特征在于：所述步驟6）所述各納米碗狀的藍寶石圖形直徑為100～900nm，深度為0.3～1.2μm。

6.根據權利要求1所述納米碗狀藍寶石圖形襯底的制作方法，其特征在于：所述步驟6）所述BOE溶液為由體積比為1:7的HF和NH₄F組成。

7.根據權利要求6所述納米碗狀藍寶石圖形襯底的制作方法，其特征在于：所述步驟6）中，在BOE溶液中浸泡的時間為10～90s。