[發明專利]光學無色差聚焦系統

有效

• 申請號: 201210281504.6
• 申請日: 2012-08-09
• 公開（公告）號: CN103575230A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 李國光;吳文鏡;王林梓;劉健鵬;劉濤;趙江艷
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所;北京智朗芯光科技有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01N21/21;G02B17/06
• 代理公司: 北京華沛德權律師事務所 11302
• 代理人: 劉麗君

1.一種光學無色差聚焦系統，其特征在于，包括：第一曲面反射元件、第二曲面反射元件及平面反射元件；

所述第一曲面反射元件，接收由點光源發射出的光束，并將該光束變成平行光束；

所述平面反射元件，接收由第一曲面反射元件反射的所述平行光束；

所述第二曲面反射元件，接收由所述平面反射元件反射的平行光束，將其變成會聚光束并垂直入射至待測樣品的表面；

所述第一曲面反射元件、平面反射元件及第二曲面反射元件構成交叉切爾尼-特納結構。

2.根據權利要求1所述的光學無色差聚焦系統，其特征在于：

所述第一曲面反射元件、第二曲面反射元件具有相同的鍍膜參數、光學參數以及曲率半徑。

3.根據權利要求1所述的光學無色差聚焦系統，其特征在于：

所述第一曲面反射元件和所述第二曲面反射元件關于第二曲面反射元件的中心法線對稱。

4.根據權利要求1所述的光學無色差聚焦系統，其特征在于：

光束在所述第一曲面反射元件，所述平面反射元件，所述第二曲面反射元件之間傳播時，其主光始終處于同一平面內。

5.根據權利要求1所述的光學無色差聚焦系統，其特征在于：

入射光束的主光在所述第一曲面反射元件和所述第二曲面反射元件上的入射角范圍為5-20度。

6.根據權利要求1所述的光學無色差聚焦系統，其特征在于：

光束在第一曲面反射元件上的入射角和第二曲面反射元件上的入射角相等。

7.根據權利要求1所述的光學無色差聚焦系統，其特征在于：

由所述光學無色差聚焦系統反射后，所述會聚光束的主光方向與所述點光源發射出的光束的主光方向的夾角為70-110度。

8.根據權利要求1-7任一項所述的光學無色差聚焦系統，其特征在于：

所述第一曲面反射元件、第二曲面反射元件為球面反射鏡。