[發(fā)明專利]一種多晶硅太陽能電池的磷擴(kuò)散方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210280345.8
• 申請日: 2012-08-08
• 公開（公告）號: CN102810599A
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張鳳;王栩生;章靈軍
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;阿特斯（中國）投資有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/223;C30B31/06
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 陶海鋒;陸金星

1.一種多晶硅太陽能電池的磷擴(kuò)散方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)?將待處理的多晶硅片的正面整面生長含磷摻雜劑；

(2)?將上述多晶硅片放入擴(kuò)散爐中，以1~10℃/min的升溫速率升溫至880~930℃，升溫的同時(shí)通入攜磷源氮?dú)狻⒏裳鹾痛蟮鰯y磷源氮?dú)獾牧髁繛?~2?L/min，干氧的流量為0.5~2?L/min，大氮的流量為10~30?L/min；

(3)?保持步驟(2)中的溫度，通入攜磷源氮?dú)狻⒏裳鹾痛蟮M(jìn)行擴(kuò)散，擴(kuò)散時(shí)間為20~50?min；所述攜磷源氮?dú)獾牧髁繛?~2?L/min，干氧的流量為0.5~2?L/min，大氮的流量為10~30?L/min；

(4)?以1~10℃/min的降溫速率降溫至800~850℃，降溫的同時(shí)通入氧氣和氮?dú)猓黄渲醒鯕獾牧髁繛?~10?L/min，氮?dú)獾牧髁繛?0~30?L/min；

(5)?降溫，出舟，完成擴(kuò)散過程。

2.由權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散方法制得的多晶硅片。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅片，其特征在于：所述多晶硅片的方塊電阻為60~100歐姆/sq，其結(jié)的表面濃度為2×10^20?~1×10^21?atom/cm³，結(jié)深為0.5~1.2微米。