[發明專利]物理量檢測元件、物理量檢測裝置以及電子設備

在審

• 申請號: 201210279602.6
• 申請日: 2012-08-07
• 公開（公告）號: CN102954792A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 市川史生;奧村洋一;菊池尊行
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/5642
• 分類號: G01C19/5642
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;張彬

技術領域

本發明涉及一種能夠利用振動片來對物理量進行檢測的元件。

背景技術

以往，作為物理量檢測元件，例如在專利文獻1中公開了如下的振動片（該文獻中的振子），其具備：基部；支承部，其從基部起沿著X軸方向而相互向相反方向分別延伸；驅動臂（驅動振動臂），其在支承部的各頂端，沿著Y軸方向而相互向相反方向分別延伸；Y軸用檢測振動臂，其從基部起沿著Y軸方向而相互向相反方向分別延伸；Z軸用檢測振動臂，其同樣從基部起沿著Y軸方向而相互向相反方向分別延伸。根據該振動片，能夠抑制因繞Z軸的旋轉角速度而造成的Y軸用檢測振動臂的寄生振動，從而減少旋轉角速度的測定值的誤差。

此外，還存在例如專利文獻2所公開這種振動片（該文獻中的慣性傳感器元件）。該振動片具有如下的簡易的結構，即，具備具有多根腳部的振動部，且振動部從基部起沿著第一方向而相互向相反方向分別延伸，而且從基部起沿著與第一方向正交的第二方向而相互向相反方向分別延伸。沿著第一方向的振動部在一側設置有激勵電極，而在另一側設置有檢測電極，從而能夠檢測繞第一方向的旋轉角速度（物理量）。同樣，沿著第二方向的振動部能夠檢測繞第二方向的旋轉角速度。

但是，在專利文獻1中，由于振動片具有如下結構，即，沿著Y軸延伸出的驅動臂或腳部在X軸方向上進行振動的結構，因此只能進行Z軸的旋轉檢測或者Y軸的旋轉檢測，而不能進行X軸的旋轉檢測。在專利文獻2中也同樣。此外，由于這些振動片具備如下結構，即，驅動臂或具有激勵電極的振動部從基部起分別延伸的結構，因此各自的振動模式的結合較弱，從而為了用一個振蕩電路激勵雙方的振動，需要進行如使各自的固有振動頻率極為接近的微調節。作為該對策，雖然可以考慮用兩個振蕩電路進行激勵的振動片，然而在該結構中，存在電路結構部的面積增大從而難以實現小型化，并增加成本的問題。

專利文獻1：日本特開2007-108053號公報

專利文獻2：日本特開2006-267094號公報

發明內容

本發明為用于解決上述課題的至少一部分而實施的，并能夠通過以下的應用例或方式來實現。

應用例1

本應用例所涉及的物理量檢測元件的特征在于具備：基部、第一連結部以及第二連結部、第一驅動振動臂以及第二驅動振動臂、第三驅動振動臂以及第四驅動振動臂、第一驅動檢測振動臂、第二驅動檢測振動臂、第三驅動檢測振動臂、第四驅動檢測振動臂，定義如下的坐標軸，所述坐標軸具有：穿過作為所述基部的重心位置的原點的X軸、和穿過所述原點并與所述X軸正交的Y軸，且將X坐標和Y坐標均取正值的區域定義為第一象限，將X坐標取負值而Y坐標取正值的區域定義為第二象限，將X坐標與Y坐標均取負值的區域定義為第三象限，將X坐標取正值而Y坐標取負值的區域定義為第四象限，所述第一連結部以及所述第二連結部與所述基部連結，并沿著所述X軸而被設置于所述基部的兩側；所述第一驅動振動臂以及所述第二驅動振動臂從所述第一連結部起，沿著所述Y軸而相互向相反方向分別延伸；所述第三驅動振動臂以及所述第四驅動振動臂從所述第二連結部起，沿著所述Y軸而相互向相反方向分別延伸；所述第一驅動檢測振動臂從所述第一驅動振動臂的所述第一連結部側起，向所述第一象限方向且相對于所述X軸而傾斜延伸；所述第二驅動檢測振動臂從所述第二驅動振動臂的所述第一連結部側起，向所述第四象限方向且相對于所述X軸而傾斜延伸；所述第三驅動檢測振動臂從所述第三驅動振動臂的所述第二連結部側起，向所述第二象限方向且相對于所述X軸而傾斜延伸；所述第四驅動檢測振動臂從所述第四驅動振動臂的所述第二連結部側起，向所述第三象限方向且相對于所述X軸而傾斜延伸。