[發明專利]一種多級浮動渦旋真空泵及其使用方法

無效

• 申請號: 201210278393.3
• 申請日: 2012-08-07
• 公開（公告）號: CN103573627A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 倪詩茂
• 申請（專利權）人: 思科渦旋科技（杭州）有限公司
• 主分類號: F04C23/00
• 分類號: F04C23/00;F04C18/02
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 竺路玲

技術領域

本發明涉及一種真空泵的技術領域，尤其涉及一種多級浮動渦旋真空泵及其使用方法的技術領域。

背景技術

在機械領域，渦卷式裝置用于壓縮機和膨脹機，渦卷是在一個端板上延伸出一個具有螺旋剖面的柱面的元件。通常一個是固定的，叫做固定渦卷。另一個渦卷具有與固定渦卷的螺旋柱面相共軛的螺旋柱面，并相對于固定渦卷做圓形的平動，也叫繞動，被稱為繞動渦卷。

這兩種渦卷的互相共軛的螺旋式渦卷?柱面相互嚙合形成線接觸。

一對相鄰的線接觸與端板表面之間至少形成一個密封的壓縮氣室。當一個繞動渦卷相對于固定渦卷做繞動運動時，在螺旋型側壁上的線接觸會沿著該側壁移動，從而改變密封氣室的大小。而繞動運動的方向將決定密封氣室膨脹或是壓縮流體。

通過固定渦卷和繞動渦卷之間形成密閉性線接觸的真空泵，通過進氣口抽取氣體，以降低進氣口的氣體壓力，提高進氣口真空度。現有的真空泵常采用固定渦卷和繞動渦卷多圈渦卷元件的方式。渦卷的圈數越多則從排氣口到進氣口通過壓縮氣室之間的內泄漏會越低，從而提高了真空泵的抽氣極限真空度。但采用多圈渦卷元件的話，由于做繞動運動時位于壓縮區內的空氣壓力會提高，尤其是在抽真空的早期階段，進氣壓力接近于大氣壓，多圈渦卷原件會使壓縮氣室內的氣體產生較大的壓力提升，而內部壓力會過大，導致產生作用在繞動渦卷和固定渦卷很大的軸向和徑向的分離力，增大了能耗。

發明內容

本發明提供了一種多級浮動渦旋真空泵及其使用方法，以解決現有固定渦卷和繞動渦卷采用多圈渦卷元件方式的真空泵，由于做繞動運動時位于壓縮區內的空氣壓縮比過高，內部壓力過大，導致產生很大的軸向和徑向的分離力和能耗大的問題，無法進一步通過增加渦卷的圈數來提高真空泵的極限真空度。

為了實現上述目的，本發明采取的技術方案為：

一種多級浮動渦旋真空泵及其使用方法，包括若干串聯連接的真空泵，每一所述真空泵包括：

一固定渦卷基座；

一位于所述固定渦卷基座上的固定渦卷；以及

一相對于所述固定渦卷做繞動運動的繞動渦卷；

其中，位于所述固定渦卷外圈渦卷元件的端板上開設進氣口，位于所述固定渦卷內圈渦卷元件的端板上開設排氣口；所述排氣口具有一排氣閥組件，用于開啟或關閉所述排氣口；所述真空泵還包括氣管，每一下游的真空泵的進氣口通過所述氣管與相鄰的上游的真空泵的排氣口連接。

上述的一種多級浮動渦旋真空泵及其使用方法，其中，所述排氣閥組件包括舌簧閥片和限位板，所述固定渦卷內圈渦卷元件的端板上還具有氣閥室，所述氣閥室通過所述氣管與下游的所述真空泵的進氣口連接，并且所述氣閥室貫穿所述固定渦卷基座，所述限位板的一端固設在所述氣閥室內的固定渦卷的端板上，并且所述限位板下壓所述舌簧閥片，所述限位板的另一端限制所述舌簧閥片的開啟角度，同時，所述舌簧閥片貼合于位于所述固定渦卷端板中部的排氣口上。

上述的一種多級浮動渦旋真空泵及其使用方法，其中，所述舌簧閥片可彈性地開啟或關閉所述排氣口；當所述舌簧閥片緊貼所述排氣口時，所述舌簧閥片關閉所述排氣口，當所述舌簧閥片開啟時，并緊貼所述限位板的另一端，以此限制所述舌簧閥片的上升。

上述的一種多級浮動渦旋真空泵及其使用方法，其中，還包括有一閥蓋，所述閥蓋覆蓋于所述固定渦卷基座上的所述氣閥室。

上述的一種多級浮動渦旋真空泵及其使用方法，其中，所述氣管貫穿所述閥蓋，并與所述氣閥室連通。

上述的一種多級浮動渦旋真空泵及其使用方法，其中，所述真空泵的數量為兩個。

上述的一種多級浮動渦旋真空泵及其使用方法，其中，上游的所述真空泵未安裝所述排氣閥組件，下游的所述真空泵安裝有所述排氣閥組件。

上述的一種多級浮動渦旋真空泵及其使用方法，其中，所述真空泵的數量為三個以上。

上述的一種多級浮動渦旋真空泵及其使用方法，其中，最上游的所述真空泵未安裝所述排氣閥組件，最下游的所述真空泵安裝有所述排氣閥組件。

一種多級浮動渦旋真空泵及其使用方法，使用相連通的多個真空泵，通過所述氣管從最上游的真空泵的進氣口中抽氣，從最下游的真空泵的排氣口中排氣，以提高真空度。

本發明由于采用了上述技術，使之與現有技術相比具有的積極效果是：??????????????????????????????????????