[發明專利]支撐腳裝置

有效

• 申請號: 201210277887.X
• 申請日: 2012-08-06
• 公開（公告）號: CN102840425A
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發明（設計）人: 李廣義;趙宏宇;裴立坤;徐俊成;王營營
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: F16M7/00
• 分類號: F16M7/00
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術領域

本發明涉及半導體晶片工藝技術領域，特別涉及一種支撐腳裝置，尤其涉及一種用于半導體晶片工藝過程的支撐腳裝置。

背景技術

現有技術的支撐腳都是半開放式的，只能調節支撐腳到圓心的前后距離，這種支撐腳只需在圓環上開相應的對心槽即可實現，但在實際應用中有一定的局限性。比如，在半導體行業，根據設備本身的結構，機械手的活動空間受到一定的限制，取片時可能會由于支撐腳的安裝位置不當，導致機械手出現撞車的情況。這種情況下，在不改變支撐腳大小，如果擴大機械手的進手范圍，從而會避免上述情況發生，同時也會節省設備本身的空間。圖1為現有技術去掉其中一個支撐腳本體后的結構圖，如圖1所示，現有技術的支撐腳本體1只能通過對心槽3來調節支撐腳本體1到圓心距離，不能使之根據設備本身的結構要求使支撐腳本體1沿支撐環2調節位置，這樣調節形式單一。

發明內容

（一）要解決的技術問題

本發明要解決的技術問題是，針對現有技術的不足，提供一種構簡單、易實現、可以不受設備結構限制，節省設備空間、可根據需要沿圓環調節位置的開放式支撐腳裝置。

（二）技術方案

一種支撐腳裝置，包括：支撐腳本體、支撐腳螺母和支撐環，所述支撐腳本體位于支撐環上表面，所述支撐腳螺母穿過支撐環下表面與所述支撐腳本體通過緊固件緊固，所述支撐腳本體和支撐腳螺母夾緊所述支撐環。

更好地，所述支撐腳本體包括：在所述支撐腳本體上表面開設的調節所述支撐腳本體到所述支撐環圓心的距離的長形圓孔，在所述支撐腳本體下表面開設的使支撐腳本體滑行的滑行槽，所述滑行槽與所述長形圓孔連通；所述支撐腳本體還包括支撐晶片的斜行面和防止機械手碰撞的槽孔。

更好地，支撐腳螺母包括：在所述支撐腳螺母上表面開設的緊固所述支撐腳本體的螺紋孔，所述螺紋孔上下貫通所述支撐腳螺母，所述支撐腳螺母還包括：卡入所述滑行槽的滑行塊、固定所述支撐環的突出塊和擋板，所述滑行塊的寬度與滑行槽內壁之間的寬度相同，所述擋板的上表面與所述支撐環的下表面緊密貼合。

更好地，所述支撐環包括：兩個套連的同心圓環。

更好地，所述支撐腳螺母突出塊上設有兩個圓弧面，所述兩個圓弧面與所述兩個套連的同心圓環之間的內圓面接觸，并且所述突出塊的寬度與所述兩個同心圓環之間的距離相等。

更好地，所述卡入滑行槽的滑行塊的上表面與滑行槽留有間隙。

更好地，所述支撐腳本體及支撐腳螺母至少為3件。

更好地，所述緊固件為螺栓。

（三）有益效果

本發明的支撐腳裝置結構簡單、易實現、可以不受設備結構限制，節省設備空間、可根據需要沿圓環調節位置，以克服現有技術中支撐腳單一性安裝方式的缺陷。

附圖說明

圖1為現有技術去掉其中一個支撐腳本體后的結構圖；

圖2為本發明支撐腳裝置的剖面圖；

圖3為本發明支撐腳本體的結構示意圖；

圖4為本發明支撐腳螺母的結構示意圖；

圖5為本發明支撐環的結構示意圖；

圖6為本發明支撐腳裝置使用示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本發明的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本發明，但不用來限制本發明的范圍。

如圖2所示，本發明提供一種支撐腳裝置，包括：支撐腳本體100、支撐腳螺母200和支撐環300，所述支撐腳本體100位于支撐環300上表面，所述支撐腳螺母200穿過支撐環300下表面與所述支撐腳本體100通過緊固件400緊固，所述支撐腳本體100和支撐腳螺母200夾緊所述支撐環300。所述緊固件400為螺栓。

如圖3所示，所述支撐腳本體100包括：在所述支撐腳本體100上表面開設的調節所述支撐腳本體100到所述支撐環300圓心的距離的長形圓孔101，在所述支撐腳本體100下表面開設的使支撐腳本體100滑行的滑行槽102，所述滑行槽102與所述長形圓孔101連通；所述支撐腳本體100還包括支撐晶片4的斜行面103和防止機械手碰撞的槽孔104。