[發明專利]磁頭元件檢查方法及其裝置

無效

• 申請號: 201210277291.X
• 申請日: 2012-08-06
• 公開（公告）號: CN102998635A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 德富照明;佐藤武史;飛田明;齋藤尚也;松下典充
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: G01R33/12
• 分類號: G01R33/12;G01Q60/50
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 曾賢偉;曹鑫

1.一種磁頭元件檢查裝置，對形成了多個磁頭的卸料器的各磁頭的寫入磁道的有效磁道寬度進行檢查，其特征在于，包括：

托盤部，其將檢查前的卸料器和檢查后的卸料器分離容納；

載物臺部，其能夠在檢查位置與樣品交接位置之間移動；

樣品交接部，其從上述托盤部取出檢查前的卸料器，交接到在上述樣品交接位置等待的上述載物臺部；

磁場測量部，其測量在上述樣品交接位置取得了上述檢查前的卸料器的上述載物臺部移動到上述檢查位置的狀態下通過向形成在上述卸料器上的磁頭施加交流電流而產生的磁場；

有效磁道寬度測量部，其根據由該磁場測量部測量所得的數據，判斷形成在上述磁頭上的寫入磁道的有效磁道寬度的優劣；

除振臺部，其搭載了上述托盤部、上述載物臺部、上述樣品交接部、上述磁場測量部和上述有效磁道寬度測量部，隔斷來自外部的振動；以及

隔音部，其遮蔽上述托盤部、上述載物臺部、上述樣品交接部、上述磁場測量部、上述有效磁道寬度測量部和上述除振臺部來隔斷外部的噪音。

2.根據權利要求1所述的磁頭元件檢查裝置，其特征在于，

上述載物臺部具備線性電動機，還具備對上述載物臺部在檢查位置與樣品交接位置之間的移動進行引導的導軌部，上述載物臺部被上述線性電動機驅動，沿著上述導軌在上述檢查位置與樣品交接位置之間移動。

3.根據權利要求1所述的磁頭元件檢查裝置，其特征在于，

上述樣品交接部具有對上述卸料器進行真空吸附的真空吸附頭，通過上述真空吸附頭對容納在上述托盤中的檢查前的卸料器進行真空吸附來取出上述卸料器，然后交接到在上述樣品交接位置等待的上述載物臺部。

4.根據權利要求1所述的磁頭元件檢查裝置，其特征在于，

上述樣品交接部具有對上述卸料器的端部進行釣接的鉤部，通過上述鉤部對容納在上述托盤中的檢查前的卸料器進行釣接來取出上述卸料器，然后交接到在上述樣品交接位置等待的上述載物臺部。

5.根據權利要求1所述的磁頭元件檢查裝置，其特征在于，

上述磁場測量部具備用于觀察放置在上述載物臺部上的卸料器的觀察單元，根據通過該觀察單元觀察到的上述卸料器的位置信息，通過上述載物臺部調整上述卸料器的位置。

6.一種磁頭元件檢查方法，對形成了多個磁頭的卸料器的各磁頭的寫入有效磁道寬度進行檢查，其特征在于，

在隔斷外部的振動的除振臺上用隔斷外部的噪音的隔音壁遮蔽的環境中執行以下步驟：

從供給用托盤取出檢查前的卸料器，交接到在樣品交接位置等待的載物臺；

使取得了該檢查前的卸料器的上述載物臺移動到檢查位置；

在該載物臺移動到檢查位置的狀態下，通過上述載物臺使上述卸料器上升，使得上述卸料器與安裝在磁力顯微鏡的懸臂的前端部附近的探針之間的間隙成為預定量；

在使該卸料器上升后的狀態下，向形成在該卸料器上的多個磁頭元件中的一個磁頭元件施加交流電流，通過該一個磁頭元件產生磁場，用上述磁力顯微鏡測量該產生的磁場的狀態；

根據該測量出的磁場的狀態，判斷形成在上述一個磁頭元件上的寫入磁道的有效磁道寬度的優劣；

通過上述載物臺使該寫入磁道的有效磁道寬度的優劣的判斷結束了的上述卸料器下降；

通過上述載物臺將該下降后的卸料器從上述檢查位置搬運到上述樣品交接位置；

根據上述寫入磁道的有效磁道寬度的優劣的判斷結果，將被搬運到該樣品交接位置的上述卸料器容納在用于容納合格品的托盤或用于容納不合格品的托盤的某一方中。

7.根據權利要求6所述的磁頭元件檢查方法，其特征在于，

上述載物臺被線性電動機驅動，沿著導軌在上述檢查位置與樣品交接位置之間移動。

8.根據權利要求6所述的磁頭元件檢查方法，其特征在于，

通過真空吸附頭對容納在上述托盤中的檢查前的卸料器進行真空吸附來取出上述卸料器，并交接到在上述樣品交接位置等待的上述載物臺部。

9.根據權利要求6所述的磁頭元件檢查方法，其特征在于，

通過鉤部對容納在上述托盤中的檢查前的卸料器進行釣接來取出上述卸料器，并交接到在上述樣品交接位置等待的上述載物臺部。

10.根據權利要求6所述的磁頭元件檢查方法，其特征在于，通過觀察單元觀察放置在上述載物臺上的卸料器，根據該觀察到的上述卸料器的位置信息，通過上述載物臺調整上述卸料器的位置。