[發明專利]一種涂布噴嘴清洗裝置

無效

• 申請號: 201210275841.4
• 申請日: 2012-08-03
• 公開（公告）號: CN102962229A
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 焦宇
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;B05C21/00
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本發明涉及平板顯示器加工技術領域，特別涉及一種涂布噴嘴清洗裝置。

背景技術

在目前應用的平板顯示器加工工藝當中，傳統工藝為在基板上沉積膜層，之后在基板上均勻涂布感光材料，利用掩膜版（mask）進行紫外線曝光和顯像，最終得到相應掩膜版圖案。

以薄膜晶體管液晶顯示器（Thin?Film?Transistor-Liquid?Crystal?Display，TFT-LCD）為例。目前常用的感光材料涂布方式為兩種：一種為直接涂布方式，即一次將感光材料涂布于基板之上，而且滿足感光材料涂布均勻性和平整度工藝要求；另一種為預先在基板上涂布感光材料，之后將基板放在離心設備上進行高速旋轉，將基板上感光材料旋轉均勻。上述的兩種感光材料涂布方式都是通過使用涂布噴嘴來實現感光材料涂布的。

請參考圖1和圖2，圖1為涂布噴嘴的結構示意圖；圖2為感光材料在涂布噴嘴喙部的狀態示意圖。

如圖1所示，涂布噴嘴包括噴嘴第一半體11和噴嘴第二半體12，噴嘴第一半體11和噴嘴第二半體12之間通過調節螺釘15連接；噴嘴第一半體11和噴嘴第二半體12設置有至少兩個固定塊14，每一個固定塊14與涂布設備的移動部連接，從而通過涂布設備的移動部帶動涂布噴嘴沿涂布方向移動并進行涂布。

如圖1所示，在壓力泵的均勻壓力作用下將正常感光材料18通過感光材料輸入端13壓入噴嘴第一半體11和噴嘴第二半體12之間形成的狹縫中。

當涂布噴嘴進行感光材料涂布時，在壓力泵均勻壓力的作用下，正常感光材料18通過涂布噴嘴喙部D均勻地噴涂于基板16上。

但是，如圖2所示，涂布噴嘴涂布完成一張基板16之后，在等待對下一張基板16進行涂布的過程中會存在時間差；由于正常感光材料18為液態，會有一部分正常感光材料18流出涂布噴嘴喙部D的狹縫，凝聚在涂布噴嘴喙部D的底端面上，此部分感光材料會直接與空氣接觸一段時間；由于正常感光材料18內部的成分溶劑具有較強的易揮發性，從而導致流出涂布噴嘴喙部D外部的感光材料的性質發生變化，形成變質感光材料19。當涂布噴嘴對下一張基板16進行涂布時，變質感光材料19首先會涂布在基板16的起涂區域17處，導致基板16的起涂區域17內涂布的感光材料出現涂布不均的現象，從而對基板16的后工序加工造成影響，影響基板16產品的質量。

因此，如何提供一種涂布噴嘴清洗裝置，能夠在涂布噴嘴進行涂布前將涂布噴嘴喙部已經變質的感光材料去除，進而提高基板產品涂布感光材料的均勻性，降低對基板后工序加工的影響，是本領域技術人員需要解決的技術問題。

發明內容

本發明實施例提供一種能夠在涂布噴嘴進行涂布前將涂布噴嘴喙部已經變質的感光材料去除的涂布噴嘴清洗裝置，進而提高基板產品涂布感光材料的均勻性，降低對基板后工序加工的影響。

為達到上述目的，本發明提供以下技術方案：

一種涂布噴嘴清洗裝置，包括：機架和滾軸；所述滾軸的兩端分別樞裝于所述機架的安裝座上，且所述滾軸在兩所述安裝座之間的長度大于所述涂布噴嘴喙部的長度，且所述滾軸的直徑大于所述涂布噴嘴喙部底端面的寬度；所述滾軸的一端設置有驅動裝置。

優選地，還包括：多個滾軸清洗針，沿所述滾軸的延伸方向安裝于所述機架上；

每一個所述滾軸清洗針的清洗液輸入端與高壓清洗液注入裝置連通，且噴口指向所述滾軸。

優選地，所述滾軸上所述滾軸清洗針的清洗點的相切平面與所述滾軸清洗針的噴射方向之間的角度的取值范圍為：30°~60°。

優選地，還包括：多個滾軸氣體清潔針，沿所述滾軸的延伸方向安裝于所述機架上；

每一個所述滾軸氣體清潔針的氣體輸入端與高壓氣體注入裝置連通，且噴口指向所述滾軸。

優選地，還包括：多個涂布噴嘴喙部側面清洗針，沿所述滾軸延伸方向安裝于所述機架上；

每一個所述涂布噴嘴喙部側面清洗針的清洗液輸入端與高壓清洗液注入裝置連通，且噴口指向所述涂布噴嘴喙部側面。

優選地，所述涂布噴嘴喙部側面清洗針的噴射方向指向斜下方，且與所述涂布噴嘴喙部側面之間所成的角度小于90°。

優選地，還包括：多個涂布噴嘴喙部側面氣體清潔針，沿所述滾軸延伸方向均勻設置于所述機架上；

每一個所述涂布噴嘴喙部側面氣體清潔針的氣體輸入端與高壓氣體注入裝置連通，且噴口指向所述涂布噴嘴喙部側面。

優選地，所述機架內側形成廢液槽，所述機架的安裝座分別為所述廢液槽的第一側壁和第二側壁；