[發明專利]多氣體濃度定性定量測量裝置及其測量方法

無效

• 申請號: 201210275724.8
• 申請日: 2012-08-04
• 公開（公告）號: CN102809553A
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發明（設計）人: 鄭軍;龔畔;馬江
• 申請（專利權）人: 重慶特瑞爾分析儀器有限公司
• 主分類號: G01N21/67
• 分類號: G01N21/67
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 鄭自群

1.一種多氣體濃度定性定量測量裝置，其特征在于：包括兩相互平行的介質阻擋放電層，在該兩介質阻擋放電層相互背離的表面上分別設一相對且平行的電極，其中一電極連接介質阻擋放電電源，另一電極接地；在所述兩電極相對的介質阻擋放電層之間區域上正對有一光譜儀，該光譜儀連接一數據處理器。

2.根據權利要求1所述的多氣體濃度定性定量測量裝置，其特征在于：所述兩相互平行的介質阻擋放電層為一具有進氣口和出氣口的氣室的相對側壁，所述兩平行的電極設于該氣室相對側壁的外表面上。

3.根據權利要求1所述的多氣體濃度定性定量測量裝置，其特征在于：所述光譜儀通過與之連接的光纖正對所述兩電極相對的介質阻擋放電層之間區域。

4.根據權利要求1所述的多氣體濃度定性定量測量裝置，其特征在于：所述電極分別通過電纜與所述介質阻擋放電電源和地連接；所述數據處理器通過信號電纜與所述光譜儀相連接。

5.根據權利要求2所述的多氣體濃度定性定量測量裝置，其特征在于：所述氣室由含鐵量小于等于0.005%的高純石英制成。

6.根據權利要求1所述的多氣體濃度定性定量測量裝置，其特征在于：所述介質阻擋放電電源為高頻率正弦波電源。

7.使用所述權利要求1至6中任意一項所述多氣體濃度定性定量測量裝置的測量方法，其特征在于：將待測氣體連續不斷通過兩介質阻擋放電層之間的區域，使兩介質阻擋放電層之間的待測氣體發生介質阻擋放電，并產生多種波長的發射光譜，使用光譜儀對其波長進行掃描并測量各波長光譜的光強，最后由數據處理器通過查詢光譜儀中各氣體對應發射光譜的光強，來定性定量地計算出待測氣體中各單元素氣體的體積濃度。

8.根據權利要求7所述的多氣體濃度定性定量測量方法，其特征在于：所述光譜儀對200nm～850nm范圍內的波長進行掃描，測出各波長光譜的光強。