[發(fā)明專利]紅外線檢測元件以及電子設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210273610.X
• 申請日: 2012-08-02
• 公開（公告）號: CN102914372A
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 齊藤秀隆
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01J5/10
• 分類號: G01J5/10;G01J5/02
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及紅外線檢測元件及電子設(shè)備，尤其涉及檢測紅外線的照射量的元件。

背景技術(shù)

在專利文獻(xiàn)1中公開有將檢測部設(shè)計(jì)在支撐基板上，再將支撐基板形成為中空結(jié)構(gòu)的測輻射熱計(jì)型紅外線檢測元件。依照該元件，在相當(dāng)于檢測部的測輻射熱計(jì)的上部設(shè)有吸收部。由吸收部將紅外線轉(zhuǎn)換為熱量，利用該熱量而對檢測部進(jìn)行加熱。然后，通過讀取檢測部的電阻溫度變化，作為紅外線檢測元件而發(fā)揮作用。

在專利文獻(xiàn)2中公開有通過芯片焊接（die?bonding）將具有中空結(jié)構(gòu)的傳感器芯片封裝于基板的方法。依照該方法，在接合傳感器芯片的基臺上設(shè)置有通氣單元。并且，中空結(jié)構(gòu)的空間與外部氣體由通氣單元連通。由此，在加熱時和冷卻時，使氣壓的變化變小。

在專利文獻(xiàn)3中公開有使具有中空結(jié)構(gòu)的熱電偶的傳感器芯片的靈敏度提高的方法。依照該方法，在安裝傳感器芯片的基部集管（base?portion?header）設(shè)置有用于使中空結(jié)構(gòu)的空間變寬廣的空腔。由此，可以抑制從傳感器芯片的放熱。以下，將傳感器芯片稱為紅外線檢測元件。

【現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)】

【專利文獻(xiàn)】

專利文獻(xiàn)1：日本專利特開2006-226890號公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本專利特開平6-77504號公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：日本專利特開2004-361386號公報(bào)

在將具有中空結(jié)構(gòu)的紅外線檢測元件固定在基板上時，將粘接劑涂覆在紅外線檢測元件或者基板上后粘接。此時，在粘接劑固化后的粘接膜位于中空結(jié)構(gòu)的空間時，由于空間變窄，因而傳感器會被絕熱。因此，一直希望如下結(jié)構(gòu)的紅外線檢測元件：即使使用粘接劑粘接在基板上，粘接膜也難以形成在中空結(jié)構(gòu)的空間中。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明為了解決上述問題的至少一部分而提出的，其能夠作為以下的方式或者適用例來實(shí)現(xiàn)。

[適用例1]

本適用例涉及的紅外線檢測元件具有：第一基板，具有第一面以及所述第一面的相反側(cè)的第二面，所述第一基板在所述第二面上具有第一凹部，且所述第一基板在所述第一面的與所述第一凹部相對的地方具有檢測紅外線的紅外線檢測部；第二基板，具有第三面以及第三面的相反側(cè)的第四面，所述第二基板在所述第四面的與所述第一凹部相對的地方具有第二凹部；以及粘接膜，粘接所述第二面與所述第四面，其中，所述第二凹部與所述第四面交叉而成的第二外周部包圍所述第一凹部與所述第二面交叉而成的第一外周部。

依照本適用例，紅外線檢測元件的第一基板與第二基板通過粘接膜粘合。而且，第一基板在第二面上具有第一凹部。此外，第二基板在與第一凹部相對的地方具有第二凹部。因此，由第一凹部與第二凹部所夾的地方成為空腔。而且，紅外線檢測元件在第一面的與第一凹部相對的地方具有紅外線檢測部。

紅外線檢測元件通過檢測由所照射的紅外線加熱而上升的溫度來檢測紅外線的照射量。因此，必須將從紅外線檢測部放出熱量的速度變?yōu)橐?guī)定的速度。在第一基板上，與紅外線檢測部相對的地方成為空腔。由于熱量在空腔中的傳導(dǎo)比第一基板慢，因而能夠?qū)崃繌募t外線檢測部放出的速度變慢。

粘接膜是液狀的粘接劑固化而成的膜。在粘接劑固化的過程中粘接劑流入第一凹部時，粘接膜會位于第一凹部內(nèi)。此時，由于空腔變小，因而熱量會易于從由紅外線加熱后的紅外線檢測部流出。于是，紅外線檢測部的靈敏度下降。在本實(shí)施方式中，在與第一凹部相對的地方配置有第二凹部。因此，在粘接劑向第一凹部行進(jìn)時，也向第二凹部行進(jìn)。而且，作為第二凹部的外周的第二外周部包圍作為第一凹部的外周的第一外周部，因而在粘接劑流入第一凹部之前，粘接劑將流入第二凹部。因此，能夠使粘接膜難以形成于第一凹部。并且，在粘接劑附著于第三面時，在第一凹部與第三面之間配置有第二基板。因此，與不使用第二基板而粘接劑直接被附著于第一基板時相比，能夠使附著于紅外線檢測元件的粘接劑難以流入第一凹部。

[適用例2]

在上述適用例涉及的紅外線檢測元件中，所述第二凹部的側(cè)壁為相對于所述第四面傾斜的斜面。

依照本適用例，第二凹部的側(cè)壁為相對于第四面傾斜的斜面。形成粘接膜的粘接劑沿第四面流動。于是，由于側(cè)壁為相對于第四面傾斜的斜面，因而粘接劑在流動時，會易于從第四面沿側(cè)壁流動。因此，粘接劑會易于向第二凹部流動，因而能夠使粘接膜難以形成于第一凹部。

[適用例3]

在上述適用例涉及的紅外線檢測元件中，在所述第一基板上設(shè)置有多個所述第一凹部和所述紅外線檢測部，多個所述第一凹部位于與一個所述第二凹部相對的地方。