[發明專利]光學半導體器件

有效

• 申請號: 201210272727.6
• 申請日: 2012-08-02
• 公開（公告）號: CN102955265A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 秋山知之
• 申請（專利權）人: 富士通株式會社
• 主分類號: G02F1/01
• 分類號: G02F1/01
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 張浴月;張志杰

1.一種光學半導體器件，包括：

第一波導，輸入光被輸入到所述第一波導中；

環形調制器，被設置為與所述第一波導光耦合；

第一環形諧振器，被設置為與所述第一波導光耦合，并具有比所述環形調制器的光程長度小的光程長度；

第二環形諧振器，被設置為與所述第一波導光耦合，并具有比所述環形調制器的光程長度大的光程長度；

加熱器，被設置為與所述環形調制器、所述第一環形諧振器以及所述第二環形諧振器相鄰；

第一光檢測器，被配置為監測所述第一環形諧振器中的光功率；

第二光檢測器，被配置為監測所述第二環形諧振器中的光功率；以及

控制器，用于基于所述第一光檢測器和所述第二光檢測器所檢測的信號控制所述加熱器，以使所述環形調制器的諧振波長與所述輸入光的波長一致。

2.根據權利要求1所述的光學半導體器件，其中，

所述環形調制器的光程長度與所述第一環形諧振器的光程長度之間的差值等于所述環形調制器的光程長度與所述第二環形諧振器的光程長度之間的差值。

3.根據權利要求1所述的光學半導體器件，其中，

所述第一波導與所述第一環形諧振器之間的間隔以及所述第一波導與所述第二環形諧振器之間的間隔小于所述第一波導與所述環形調制器之間的間隔。

4.根據權利要求1所述的光學半導體器件，其中，

所述第一環形諧振器和所述第二環形諧振器被設置為比所述環形調制器更鄰近所述第一波導的輸入端側。

5.根據權利要求1所述的光學半導體器件，其中，

所述第一波導包括第一分支波導和第二分支波導，

所述第一環形諧振器被設置為與所述第一分支波導光耦合，以及

所述第二環形諧振器被設置為與所述第二分支波導光耦合。

6.根據權利要求1所述的光學半導體器件，其中，

所述第一環形諧振器和所述第二環形諧振器被設置為在所述第一波導的同一位置處彼此光耦合。

7.根據權利要求1所述的光學半導體器件，還包括：

第二波導，被設置為與所述環形調制器光耦合，

其中，輸出光被從所述第二波導輸出。

8.根據權利要求1所述的光學半導體器件，其中，

所述第一光檢測器形成在所述第一環形諧振器的一部分中，以及

所述第二光檢測器形成在所述第二環形諧振器的一部分中。

9.根據權利要求1所述的光學半導體器件，還包括：

隔熱槽，形成在所述環形調制器、所述第一環形諧振器以及所述第二環形諧振器的周圍。

10.根據權利要求1所述的光學半導體器件，其中，

所述控制器包括：

電流相減電路，所述第一光檢測器的輸出信號和所述第二光檢測器的輸出信號被輸入到所述電流相減電路中；以及

PID控制電路，基于從所述電流相減電路輸出的輸出信號來控制所述加熱器。

11.根據權利要求10所述的光學半導體器件，其中，

所述PID控制電路控制所述加熱器使得從所述電流相減電路輸出的輸出信號變為零。

12.根據權利要求1所述的光學半導體器件，還包括：

第三環形諧振器，被設置為鄰近于所述加熱器以與所述第一波導光耦合，并具有比所述第一環形諧振器的光程長度大且比所述環形調制器的光程長度小的光程長度；

第四環形諧振器，被設置為鄰近于所述加熱器以與所述第一波導光耦合，并具有比所述環形調制器的光程長度大且比所述第二環形諧振器的光程長度小的光程長度；

第三光檢測器，被配置為監測所述第三環形諧振器中的光功率；以及

第四光檢測器，被配置為監測所述第四環形諧振器中的光功率。

13.根據權利要求12所述的光學半導體器件，其中，

所述環形調制器的光程長度與所述第三環形諧振器的光程長度之間的差值等于所述環形調制器的光程長度與所述第四環形諧振器的光程長度之間的差值。