[發明專利]偏振狀態測定裝置以及偏振狀態測定方法

在審

• 申請號: 201210272524.7
• 申請日: 2012-08-01
• 公開（公告）號: CN102914368A
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發明（設計）人: 山田英明;長石道博
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01J4/00
• 分類號: G01J4/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種偏振狀態測定裝置，該偏振狀態測定裝置具備：

檢光部，其對線偏振光透過被檢體后的透過光進行檢測并射出；

垂直分離部，其對來自所述檢光部的出射光進行垂直分離；

受光部，其接收由所述垂直分離部進行垂直分離后的光；

旋轉控制部，其使所述檢光部以旋轉面與所述透過光的光路垂直的方式旋轉；以及

偏振狀態測定部，其使用在所述檢光部的旋轉中由所述受光部接收進行所述垂直分離后的光而得到的強度來測定所述透過光的偏振狀態。

2.根據權利要求1所述的偏振狀態測定裝置，其中，

所述旋轉控制部使所述檢光部在規定的角度范圍內旋轉。

3.根據權利要求1或2所述的偏振狀態測定裝置，其中，

所述偏振狀態測定部具有使用所述接收的光的強度來判定所述透過光的振動軌跡的振動軌跡判定部，使用由該振動軌跡判定部判定的振動軌跡來測定所述透過光的偏振狀態。

4.根據權利要求1或2所述的偏振狀態測定裝置，其中，

所述偏振狀態測定部將所述透過光視為橢圓偏振光，測定橢圓的特征值，由此測定所述偏振狀態。

5.根據權利要求1或2所述的偏振狀態測定裝置，其中，

所述線偏振光的偏角為45°。

6.根據權利要求1或2所述的偏振狀態測定裝置，其中，

所述檢光部具有格蘭湯普森棱鏡。

7.根據權利要求1或2所述的偏振狀態測定裝置，其中，

所述垂直分離部具有沃拉斯頓棱鏡。

8.一種偏振狀態測定方法，該偏振狀態測定方法對光學裝置進行控制來測定透過光的偏振狀態，所述光學裝置具備：檢光部，其對線偏振光透過被檢體后的所述透過光進行檢測并射出；垂直分離部，其對來自所述檢光部的出射光進行垂直分離；以及受光部，其接收由所述垂直分離部進行垂直分離后的光，

所述偏振狀態測定方法包含以下步驟：

使所述檢光部以旋轉面與所述透過光的光路垂直的方式旋轉；以及

使用在所述檢光部的旋轉中由所述受光部接收進行所述垂直分離后的光而得到的強度來測定所述透過光的偏振狀態。