[發明專利]正型光敏樹脂組合物、由其制造的光敏樹脂膜及含有該光敏樹脂膜的半導體裝置

有效

• 申請號: 201210272274.7
• 申請日: 2012-08-01
• 公開（公告）號: CN103135354A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 鄭知英;李珍泳;李種和;趙顯龍;金尚洙;尹銀卿;李俊昊;車明煥;黃銀夏
• 申請（專利權）人: 第一毛織株式會社
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039;G03F7/016;G02F1/1333;H01L23/29
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 張英;劉書芝

1.一種正型光敏樹脂組合物，包含：

(A)包括第一聚苯并噁唑前體的聚苯并噁唑前體，該第一聚苯并噁唑前體包含以下化學式1所示重復單元和以下化學式2所示重復單元，并在至少一個末端具有可熱聚官能團；

(B)包括酚醛樹脂的溶解控制劑，該酚醛樹脂包含以下化學式4所示重復單元；

(C)光敏重氮醌化合物；

(D)硅烷化合物；

(E)產酸劑；

(F)溶劑；

[化學式1]

[化學式2]

其中，在化學式1和2中，

X¹在各個重復單元中相同或者不同，各自獨立地是取代或未取代的C6至C30芳香族有機基團、取代或未取代的四價至六價C1至C30脂肪族有機基團、或者取代或未取代的四價至六價C3至C30脂環族有機基團，

X²在各個重復單元中相同或者不同，獨立地是下述化學式3所示的官能團，以及

Y¹和Y²相同或者不同，各自獨立地是取代或未取代的C6至C30芳香族有機基團、取代或未取代的二價至六價C1至C30脂肪族有機基團、或者取代或未取代的二價至六價C3至C30脂環族有機基團，

[化學式3]

其中，在化學式3中，

Z¹在各個重復單元中相同或者不同，各自獨立地是單鍵、-O-、-COO-、-OCO-、-NH-、-CONH-、取代或未取代的C1至C15亞烷基、取代或未取代的C2至C15亞烯基、或者取代或未取代的C2至C15的亞炔基，

G¹在各個重復單元中相同或者不同，各自獨立地是單鍵、取代或未取代的C6至C30芳香族有機基團、取代或未取代的二價至六價C3至C30脂環族有機基團、或者取代或未取代的二價至六價C2至C30雜環基團，

R¹在各個重復單元中相同或者不同，各自獨立地是氫、氟、羥基、硫醇基、取代或未取代的C1至C30的羧基、或者取代或未取代的C1至C30脂肪族有機基團，

R²在各個重復單元中相同或者不同，各自獨立地是氫、取代或未取代的C1至C30的烷基、取代或未取代的C1至C30的羧基、羥基或硫醇基，

n₁是1至5的整數，

n₂是0至3的整數，

[化學式4]

其中，在化學式4中，

R³在各個重復單元中相同或者不同，是取代或未取代的C1至C20的脂肪族有機基團，

其中基于100mol%的R³，在酚醛樹脂包括的重復單元中大于或等于50mol%的R³相對于羥基（OH）在間位。