[發(fā)明專利]太陽能電池?cái)U(kuò)散退火工藝無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210268476.4 | 申請日： | 2012-07-31 |
| 公開（公告）號： | CN102810598A | 公開（公告）日： | 2012-12-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳劍鋒;陸寧;陳文翔 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇順風(fēng)光電科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市維益專利事務(wù)所 32211 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213169 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 太陽能電池 擴(kuò)散 退火 工藝 | ||
1.一種太陽能電池?cái)U(kuò)散退火工藝，其特征在于包括以下步驟：
1）把制絨好的硅片放進(jìn)擴(kuò)散爐管中，將溫度升到750-810℃，升溫時(shí)間600-700s，同時(shí)通入氧氣10000-15000sccm；
2）維持750-810℃溫度不變，維持時(shí)間600-1200s，同時(shí)通入氮?dú)?000-10000sccm；
3）前氧化，時(shí)間120-500s，通入的氧氣量為200-600sccm，氮?dú)饬繛?000-10000sccm；
4）衡溫預(yù)淀積，溫度在750-810℃，通入氮?dú)?000-10000sccm，攜源氮?dú)?00-1400sccm，氧氣200-600sccm，時(shí)間720-1200s；
5）主擴(kuò)散，變溫推進(jìn)，溫度從750-810℃范圍以一定升溫速率上升到810-870℃范圍，氮?dú)?000-10000sccm，氧氣2000-2900sccm，時(shí)間360-600s；
6）降溫，通入的氮?dú)饬繛?5000-25000sccm，使得爐內(nèi)溫度以一定降溫速率降到750-810℃范圍，時(shí)間720-1200s；
7）退火，維持750-800℃范圍600-1200s，氮?dú)?5000-25000sccm；
8）退舟，氮?dú)?0000-25000sccm，時(shí)間300-600s。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個(gè)或多個(gè)電光源，如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
