[發明專利]鈦錳共摻雜三族鉬酸鹽發光材料、制備方法及其應用

無效

• 申請號: 201210268336.7
• 申請日: 2012-07-31
• 公開（公告）號: CN103571475A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 周明杰;王平;陳吉星;黃輝
• 申請（專利權）人: 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術有限公司
• 主分類號: C09K11/68
• 分類號: C09K11/68;H01L33/50
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種鈦錳共摻雜三族鉬酸鹽發光材料，其特征在于：其化學式為Re₂(MoO₄)₃:xTi⁴⁺，yMn⁴⁺，其中Re₂(MoO₄)₃是基質，錳離子和鈦離子是激活元素，x為0.01~0.05，y為0.005~0.03，Re為鋁離子，鎵離子，銦離子或鉈離子。

2.一種鈦錳共摻雜三族鉬酸鹽發光材料的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

根據Re₂(MoO₄)₃:xTi⁴⁺，yMn⁴⁺各元素的化學計量比稱取Re₂O₃，MoO₃，TiO₂和MnO₂粉體并混合均勻，其中x為0.01~0.05，y為0.005~0.03，Re₂O₃為Al₂O₃，Ga₂O₃，In₂O₃或Tl₂O₃；及

將混合均勻的粉體在900℃~1300℃下燒結0.5小時~5小時即得到化學式為Re₂(MoO₄₎₃:xTi⁴⁺，yMn⁴⁺的鈦錳共摻雜三族鉬酸鹽發光材料，Re為鋁離子，鎵離子，銦離子或鉈離子。

3.一種鈦錳共摻雜三族鉬酸鹽發光薄膜，其特征在于，該鈦錳共摻雜三族鉬酸鹽發光薄膜的材料的化學通式為Re₂(MoO₄)₃:xTi⁴⁺，yMn⁴⁺，其中Re₂(MoO₄)₃是基質，錳離子和鈦離子是激活元素，x為0.01~0.05，y為0.005~0.03，Re為鋁離子，鎵離子，銦離子或鉈離子。

4.一種鈦錳共摻雜三族鉬酸鹽發光薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

根據Re₂(MoO₄)₃:xTi⁴⁺，yMn⁴⁺各元素的化學計量比稱取Re₂O₃，MoO₃，TiO₂和MnO₂粉體并混合均勻在900℃~1300℃下燒結0.5小時~5小時制成靶材，其中，x為0.01~0.05，y為0.005~0.03，Re₂O₃為Al₂O₃，Ga₂O₃，In₂O₃或Tl₂O₃；

將所述靶材以及襯底裝入磁控濺射鍍膜設備的真空腔體，并將真空腔體的真空度設置為1.0×10^-3Pa~1.0×10^-5Pa；及

調整磁控濺射鍍膜工藝參數為：基靶間距為45mm~95mm，磁控濺射工作壓強0.2Pa~4Pa，工作氣體的流量為10sccm~35sccm，襯底溫度為250℃~750℃，激光能量為50W~500W，接著進行制膜，得到化學式為Re₂(MoO₄)₃:xTi⁴⁺，yMn⁴⁺的鈦錳共摻雜三族鉬酸鹽發光薄膜，Re為鋁離子，鎵離子，銦離子或鉈離子。

5.根據權利要求4所述的鈦錳共摻雜三族鉬酸鹽發光薄膜的制備方法，其特征在于，所述真空腔體的真空度為5.0×10^-4Pa，基靶間距為60mm，磁控濺射工作壓強為2Pa，工作氣體為氧氣，工作氣體的流量為25sccm，襯底溫度為500℃，激光能量為300W。