[發(fā)明專利]一種非接觸式掃描鏡轉(zhuǎn)角和轉(zhuǎn)速測試系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210268287.7
• 申請日: 2012-07-31
• 公開（公告）號: CN102778219A
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顏昌翔;王洋
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號: G01C1/00
• 分類號: G01C1/00;G01P3/36
• 代理公司: 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 劉樹清

1.一種非接觸式掃描鏡轉(zhuǎn)角和轉(zhuǎn)速測試系統(tǒng)，包括：半導(dǎo)體激光器（11）、濾光片（14）、CCD接收器件（17）、CCD處理電路（20）、計(jì)算機(jī)（21）、掃描鏡（22）、驅(qū)動電機(jī)（24）；其特征在于還包括：半導(dǎo)體激光器可調(diào)支座（12）、濾光片支架（13）、陣列平面反射鏡（15）、陣列平面反射鏡基座（16）、CCD接收器件基座（18）、檢測系統(tǒng)基板（19）、被檢測掃描鏡轉(zhuǎn)軸（23）；其中，陣列平面反射鏡（15）包括：第一平面反射鏡（25）、第二平面反射鏡（26）、第三平面反射鏡（27）、第四平面反射鏡（28）和第五平面反射鏡（29）；CCD處理電路（20）包括：CCD接收器件（17）、驅(qū)動模塊（30）、視頻處理器（31）、控制單元（32）、配置可編程只讀存儲器（33）、晶振（34）、差分芯片（35）、RS-422串行通信接口（36）、電源（37）和二次電源模塊（38）；被檢測的掃描鏡（22）安裝在檢測系統(tǒng)基板（19）上，使被檢測掃描鏡轉(zhuǎn)軸（23)垂直于檢測系統(tǒng)基板(19)，被檢測掃描鏡(22)能繞掃描鏡轉(zhuǎn)軸(23)轉(zhuǎn)動，驅(qū)動電機(jī)(24)和掃描鏡轉(zhuǎn)軸(23)同軸固連；半導(dǎo)體激光器可調(diào)支座(12)安裝在檢測系統(tǒng)基板(19)上，半導(dǎo)體激光器(11)安裝在可調(diào)基座(12)上，使半導(dǎo)體激光器(11)發(fā)射激光束的光軸平行于檢測系統(tǒng)基板(19)的工作面，垂直入射到濾光片(14)上，激光束經(jīng)過濾光片(14)指向被檢測掃描鏡(22)的反射面；濾光片(14)安裝在濾光片支架(13)上，濾光片支架(13)安裝在檢測系統(tǒng)基板(19)上，濾光片(14)的工作面垂直于檢測系統(tǒng)基板(19)；陣列平面反射鏡(15)從右至左依次為第一平面反射鏡(25)、第二平面反射鏡(23)、第三平面反射鏡(27)、第四平面反射鏡(28）和第五平面反射鏡（29），構(gòu)成一字形排列的陣列，它們的后表面在同一平面上，安裝在陣列平面反射鏡基座（16）上，陣列平面反射鏡（15）的工作反射面都為平面；陣列平面反射鏡基座（16)安裝在檢測系統(tǒng)基板(19)上，使陣列平面反射鏡(15)的反射面與被檢測掃描鏡(22)的反射面相對；CCD接收器件基座(18)安裝在檢測系統(tǒng)基板(19)上，CCD接收器件（17）安裝在CCD接收器件基座（18)上，使CCD接收器件(17)的光敏面與陣列平面反射鏡(15）的反射面相對安裝；同時，要使半導(dǎo)體激光器（11）發(fā)射激光束的光軸、濾光片（14）工作平面的水平中線、被檢測掃描鏡（22）的反射面水平中線、陣列平面反射鏡（15)的反射面水平中線、CCD接收器件(17)的光敏面水平中線在同一高度的水平面上，在這個水平面上設(shè)有直角坐標(biāo)系xoy面，xoy面與檢測系統(tǒng)基板(19)是相互平行的；陣列平面反射鏡(15)中的第一平面反射鏡（25）、第二平面反射鏡（26）、第三平面反射鏡（27）、第四平面反射鏡（28)和第五平面反射鏡(29)的反射面在xoy面上的投影是同一個橢圓的一系列切線段，兩兩相接，五塊平面反射鏡通過陣列平面反射鏡固定基座(16)固定在一起，被檢測掃描鏡轉(zhuǎn)軸(23)的回轉(zhuǎn)中心和CCD接收器件(17)的豎直中心線分別位于xoy面內(nèi)與陣列平面反射鏡相切橢圓的兩個焦點(diǎn)F1、F2處；CCD處理電路(20)通過CCD接收器件(17)的接口和CCD接收器件(17)相連。